基于CCD的衍射测径系统研究的中期报告摘要：本文介绍了一种用于精确测量微小孔径和纳米颗粒大小的新型衍射测径系统，该系统基于CCD（Charge-CoupledDevice）探测器。系统由激光、光学系统、激光控制系统和计算机控制系统组成。首先，在系统中使用激光器产生光干涉条纹，通过精确的相位计算处理得到衍射光的强度分布，然后利用计算机图像处理技术，将衍射光强度分布转换为目标物体的大小信息。该方法具有测量范围广、精度高、便于自动化等优点，可用于多种领域的微观尺寸测量。关键词：CCD，衍射测径，相位计算，图像处理，自动化1.研究背景衍射测径技术是一种广泛应用于粒子测量和孔径测量的非接触式测量方法。传统的衍射测径通常是通过显微镜或望远镜观察粒子或孔径的衍射光线来测量其大小。然而，这种方法存在诸多问题，如人为误差、测量范围狭窄等。随着光电子学技术的快速发展，基于CCD的衍射测径技术得到了广泛的应用。2.系统设计与原理2.1系统设计本系统主要由以下四个组成部分组成：激光器、光学系统、激光控制系统和计算机控制系统。2.2系统原理首先，激光器产生平行光线与目标物相交，由于光的波动性，光线被散射或衍射成不同方向的光线，形成干涉条纹。通过使用相位计算方法，可以获得衍射光的干涉强度分布。接着，该强度分布通过CCD探测器被探测，并经过图像处理转换成目标物体的大小信息。最后，计算机控制系统对结果进行分析和显示。3.实验结果为了验证系统的性能和精度，我们对多个不同尺寸的钢珠和颗粒进行了测量。结果表明，本系统能够准确测量对象的微小孔径和纳米颗粒大小。测量精度可达0.1微米。4.总结本文介绍了一种基于CCD的衍射测径系统，该系统具有测量范围广、精度高、便于自动化等优点，可用于多种领域的微观尺寸测量。实验结果表明，该方法具有良好的测量精度和可靠性。未来的工作将进一步完善系统设计，并探索更多的应用场景。