第二章透射电子显微镜第一节透射电子显微镜的基本构造教学目的与要求Hitachi超高压透射电子显微镜日立H-7600透射电子显微镜透射电镜的基本组成部分透射电镜结构简图一.电子光学系统1.电子枪２）栅极栅极位于阴极和阳极之间由一个中央有孔的圆金属筒构成作用：控制电子发射的强度，并将阴极发射的电子束挤压成直径小于10Oμm的束流，这个极微小电子束的集合点(又称交叉点)就是电镜的真正光源２.聚光镜（二）样品室（三）成像放大系统物镜极靴2.中间镜（四）观察记录系统观察装置2.记录装置二.真空排气系统2.真空度的单位机械泵扩散泵真空检测装置真空阀门机械泵是旋转式的，泵体内装有油浸偏心刮片，它通过真空管道与密闭的镜筒相连，并依靠转子的旋转使泵体内的空气压缩，且压力上升。当泵体内的气压大于外界的大气压时，泵体内的气体就被排出。排气阀可防止排出的气体倒流，与此同时，镜简中的气体不断地补充到泵体中，又不断地被排出，这一过程反复循环就使镜筒中的气体越来越少。尽管机械泵排气的速度较低(一般15OL/min)，可达的真空度也不高,但它为进一步用扩散泵抽真空打下了基础。机械泵工作原理扩散泵:由二至三级油扩散泵组成，包括泵体和水冷却挡板两部分。泵体又包括加热槽、水冷却箱和多级喷筒。但是油扩散泵的启动需要特定条件，即吸入口和排气口的压强必须低于13.3Pa，所以要用机械泵辅助工作。在开启扩散泵之前，先用机械泵预抽真空20~30分钟，使镜筒内达到一定的真空度。油扩散泵工作原理截面图真空检测装置显示镜筒的真空度，并备有指示灯。有的新型电镜装有自动控制真空系统，当镜筒中的真空度下降时，高压电路自动中断，同时开启真空泵。三.电路系统另外供电系统还包括偏转线圈和消像散线圈电源，这两种用一级稳定电路即可。为防止启动机械泵或开关照明灯时引起高压电沉和透镜电流波动，因而影响电源的稳定度，需将机械泵和开关照明电路接在安全电路的后面和总稳压器的前面。总电源稳压器可把电流波动初步稳定在±2％，为进一步稳压打下基础。Hitachi超高压透射电子显微镜透射电镜的基本组成部分（三）成像放大系统机械泵是旋转式的，泵体内装有油浸偏心刮片，它通过真空管道与密闭的镜筒相连，并依靠转子的旋转使泵体内的空气压缩，且压力上升。当泵体内的气压大于外界的大气压时，泵体内的气体就被排出。排气阀可防止排出的气体倒流，与此同时，镜简中的气体不断地补充到泵体中，又不断地被排出，这一过程反复循环就使镜筒中的气体越来越少。尽管机械泵排气的速度较低(一般15OL/min)，可达的真空度也不高,但它为进一步用扩散泵抽真空打下了基础。机械泵工作原理