6.1、定量分析(dìngliàngfēnxī)方法、第一性原理(yuánlǐ)模型(FirstPrincipleModel)、元素(yuánsù)灵敏度因子法(1)、原子(yuánzǐ)百分数的计算(2)、灵敏度因子(yīnzǐ)元素的相对(xiāngduì)灵敏度因子(3)、原子(yuánzǐ)浓度的计算方法、定量精确度和误差(wùchā)来源定量(dìngliàng)的不确定性来源、一个(yīɡè)定量分析例子定量分析(dìngliàngfēnxī)例子6.2深度(shēndù)剖析方法、深度分布信息(xìnxī)、角分辨XPS深度(shēndù)剖析(d~)、角分辨(fēnbiàn)XPS、厚度(hòudù)测量-ARXPS、离子(lízǐ)溅射深度剖析（d>>）、离子束溅射深度(shēndù)分析深度剖析实验由交替地分析跟着(gēnzhe)周期性刻蚀然后再分析构成。可观测到浓度或化学态随深度的变化。离子蚀刻(shíkè)深度剖析、离子(lízǐ)刻蚀速率离子(lízǐ)刻蚀速率、深度剖析的影响(yǐngxiǎng)因素、在薄膜材料研究(yánjiū)中的应用在半导体微电子技术(jìshù)中的应用深度剖析(pōuxī)实例【例】XPSdepthprofileofmultilayerNi/Cr/CrO/Ni/Cr/Si在半导体微电子器件中需要有金属引出电极(diànjí)，理想的电极(diànjí)材料为金，但是金与半导体硅之间存在严重的互扩散，为此必须制作有过渡夹层的多层膜材料来实现。如Au/Cr/Si多层膜系统。由于电子器件在使用过程中不可避免地会发热，所以这样制作出的器件必须要经过可靠性老化试验。建筑玻璃镀层(dùcénɡ)(Coating)的深度剖析思考题感谢您的观看(guānkàn)！