锑化铟-铟薄膜电阻温度传感器的设计与研究的开题报告一、研究背景及意义电阻温度传感器是一种常见的检测温度的仪器，应用广泛。传统的制作方法是采用常见金属的电阻率受温度影响的特性，如铜电阻温度特性，但此类传感器存在精度不高，灵敏度不够等问题。因此，利用新材料进行传感器的制作具有重要的研究意义。锑化铟-铟材料具有良好的电性能和热学性能，且在温度变化下具有线性变化的电阻率特性。因此，以锑化铟-铟薄膜为基础材料的电阻温度传感器具有温度系数高、响应速度快、精度高等优点，有望在智能化、自动化领域有广阔的应用前景。本研究旨在设计锑化铟-铟薄膜电阻温度传感器，并对其性能进行测量和分析。二、研究内容和研究方法1.锑化铟-铟材料制备与表征。采用射频磁控溅射技术在有机玻璃基板上制备锑化铟-铟薄膜，并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、热重分析(TGA)等测试手段对其进行表征。2.锑化铟-铟薄膜电阻温度特性的测试。利用自行搭建的测试系统对锑化铟-铟薄膜电阻率随温度变化的特性进行测试，得到其温度系数和稳定性等性能数据。3.设计并实现锑化铟-铟薄膜电阻温度传感器。根据测试数据进行设计，通过电路原理图的绘制和元器件的选型，设计出一款锑化铟-铟薄膜电阻温度传感器并进行实现。4.传感器性能测试。对于制作完成的电阻温度传感器，测试其温度响应能力、精度、线性度等性能。三、研究预期成果1.成功制备出锑化铟-铟材料，并对其进行表征。2.测试了锑化铟-铟薄膜电阻率随温度变化的特性。3.成功设计并制作出锑化铟-铟薄膜电阻温度传感器。4.对传感器进行性能测试，并得到其响应能力、精度、线性度等性能指标。四、研究进展及计划目前已完成锑化铟-铟材料制备，并进行了XRD、SEM等表征。正在进行锑化铟-铟薄膜电阻温度特性的测试，预计本月完成。接下来将进行电路原理图设计，元器件选型，以及传感器的制作并进行性能测试，预计在本年度完成研究。五、参考文献[1]王珊珊,杨春林,王银环,等.新型微波加热法制备SnSb2Te4薄膜及其热电性能[J].物理学报,2012,61(3):237-241.[2]WangM,FanL,LiuW,etal.Synthesisandthermoelectricpropertiesofantimony-andbismuth-basedquaternarychalcogenides[J].JournalofSolidStateChemistry,2016,235:27-34.[3]LangZ,WuJ,ZouJ,etal.GrowthandcharacterizationofthinfilmsofInSbSandInSbSebyMBEforradiationdetectorapplications[J].JournalofCrystalGrowth,2005,278(3):542-548.