MEMS在线式微波功率传感器的设计、制备与表征的中期报告本文介绍了一项针对MEMS在线式微波功率传感器的设计、制备与表征工作的中期报告。设计：本项目的传感器采用了微机电系统（MEMS）技术，结合传统的微波功率传感器设计思路，基于阻抗匹配原理，设计了一种在线式微波功率传感器。该传感器采用了微型衰减器和一个简单的同轴线结构，能够测量在微波频段内的功率。制备：传感器的制备基于MEMS工艺流程，使用了标准的SOI（SiliconOnInsulator，绝缘体硅衬底）工艺。在SOI衬底上进行了表面微加工，完成了传感器的制备。表征：传感器制备完毕后，进行了一系列的表征实验。在实验中，我们首先使用功率计测量了微波信号的功率，然后将信号输入到设计制备的传感器中，使用示波器测量了传感器的输出信号。实验结果表明，传感器能够准确地测量功率，并且具有良好的线性特性和稳定性。结论：本项目成功设计制备了一种新型的在线式微波功率传感器。通过实验表征，证明了传感器具有优良的测量性能。未来，我们将继续优化传感器的设计和制备工艺，以提高传感器的灵敏度和性能。