Padé逼近在溅射输运理论中的应用的中期报告该中期报告旨在介绍Padé逼近在溅射输运理论中的应用。溅射输运理论是研究固体表面上的原子或分子受到粒子束轰击后的行为，特别是在制造微电子设备和涂层材料方面具有重要的应用。Padé逼近是一种数值分析技术，用于将一组有限数量的函数值（即有限项级数）逼近为一个有理函数。这种技术在溅射输运理论中的应用是将连续的输运方程逼近为有理函数形式，以便通过求解有理函数来得到更准确的解析解。本报告首先介绍了溅射输运理论的基本原理，包括能量损失、角分布和以及背散射等基本概念。接着讨论了Padé逼近的基本原理和应用方法。然后将这两者结合起来，详细介绍了如何使用Padé逼近方法来近似求解溅射输运方程，并且提供了使用此方法的示例和数值模拟结果。最后，讨论了该方法的优点和局限性以及未来的研究方向。本报告的主要贡献是提供了一种新的用于溅射输运理论中的解析解方法。与传统的方法相比，Padé逼近方法更加准确和快速，特别是在计算误差和级数收敛方面更具优势。此外，该方法还可以用于处理具有复杂几何形状或非均匀物质分布的体系，可以进一步拓展其应用范围。总之，Padé逼近是一种有潜力的数值分析方法，可以在溅射输运理论中得到广泛应用。虽然还需要进一步研究和改进，但该方法已经显示出了相当的优势和实用性，我们期待着其在未来的发展。