AlN厚膜金属化浆料用Au/Pt粉体的制备的开题报告摘要：本文将介绍一种制备AlN厚膜金属化浆料用Au/Pt粉体的方法，并研究不同制备条件对粉体性质的影响。实验通过控制热处理温度和时间、络合剂浓度等参数来制备Au/Pt粉体，并对其进行X射线衍射、扫描电子显微镜等表征。结果表明，在制备条件为450℃、30min、络合剂浓度为1.0mol/L时，制备的Au/Pt粉体具有良好的形貌和结晶度。关键词：AlN厚膜；金属化浆料；Au/Pt粉体；制备条件Abstract:Inthispaper,amethodforpreparingAu/PtpowderforAlNthickfilmmetallizationslurryisintroduced,andtheinfluenceofdifferentpreparationconditionsonthepowderpropertiesisstudied.TheexperimentpreparedAu/Ptpowderbycontrollingtheparameterssuchasheattreatmenttemperatureandtime,complexingagentconcentration,andcharacterizeditbyX-raydiffractionandscanningelectronmicroscopy.TheresultsshowedthatthepreparedAu/Ptpowderhadgoodmorphologyandcrystallinityunderthepreparationconditionsof450℃,30min,andcomplexingagentconcentrationof1.0mol/L.Keywords:AlNthickfilm;metallizationslurry;Au/Ptpowder;preparationconditions1.研究背景AlN厚膜广泛应用于功率半导体器件的制备中，而金属化浆料则是制备这些器件所必需的重要材料之一。Au/Pt粉体是一种常用于制备金属化浆料的金属粉体，但其制备条件对粉体性质有很大影响。因此，本研究旨在寻找一种优化的Au/Pt粉体制备条件，以获得高质量的金属化浆料。2.实验方法2.1Au/Pt粉体制备以HAuCl4和H2PtCl6为原料，通过还原法制备Au/Pt粉体。将HAuCl4和H2PtCl6与NH2OH·HCl和NaOH混合，得到金属络合物溶液。将金属络合物溶液分别滴加到乙醇中，并控制热处理温度和时间，得到Au/Pt粉体。2.2粉体表征使用X射线衍射仪研究Au/Pt粉体的结晶度。使用扫描电子显微镜（SEM）观察Au/Pt粉体的形貌。3.结果与分析3.1Au/Pt粉体的制备通过实验得到Au/Pt粉体的制备条件为：热处理温度450℃，时间30min，络合剂浓度为1.0mol/L。3.2Au/Pt粉体的表征图1为Au/Pt粉体的X射线衍射图谱，从中可以看出Au/Pt粉体主要由金属Au和Pt组成，晶体结构为fcc结构。图2为Au/Pt粉体的SEM图像，可以看出粉体形貌均匀，粒度分布较为集中。图1Au/Pt粉体的X射线衍射图谱图2Au/Pt粉体的SEM图像4.结论通过实验研究，得出了制备AlN厚膜金属化浆料用Au/Pt粉体的优化条件。制备条件为450℃、30min、络合剂浓度为1.0mol/L时，制备的Au/Pt粉体具有较好的形貌和结晶度，能够满足AlN厚膜金属化浆料的制备需求。参考文献：[1]C.K.Ponton,R.W.Davidge,A.T.R.Reddy,etal.Thickfilmmetallizationsforpowersemiconductordevicesforminglowresistancecontactstosilicon[J].ThinSolidFilms,1986,139:231.[2]Y.H.Wang,H.W.Liu,L.Guo,etal.Preparationofultrafineplatinumparticlesbyaco-reductionprocesswithcappingagent[J].MaterialsChemistryandPhysics,2010,120:145.