MEMS应力测试研究的任务书题目：MEMS应力测试研究任务描述：近年来，随着微电子技术的不断发展，MEMS（微机电系统）技术得到了广泛应用。MEMS器件制造中的微纳加工技术和材料科学等方面的进步，已经使MEMS器件的尺寸缩小到亚微米级别，并且具有较大的应用潜力。MEMS器件中常常涉及到介观尺度下的应力，例如应力传感器、压力传感器、加速度传感器等。因此，对MEMS器件的应力测试研究非常重要。本次任务的目标是进行MEMS应力测试研究，包括应力传感器的设计与制造、测试方法的建立和实验研究等方面。任务主要包括以下几个方面：1.设计一种适用于微纳米尺度下的MEMS应力传感器，设计或选择相应的MEMS加工工艺，制备其样品并进行测试、优化。要求在尺寸小、灵敏度高、测量范围广等方面具备优势。2.探索适合于MEMS应力测试的多种测试方法，包括无损检测、电学、光学等多种技术手段。建立相应的测试方法，并开展实验研究，探究各种条件下的测试特点并做出相应的分析。3.开展MEMS应力测试的应用研究，利用在任务1和任务2中掌握的技术，对材料或器件的实际应力表现进行测试、分析并研究其本质规律。例如可以研究微纳加工技术过程中的应力影响、材料性质的应力敏感性、温度、环境等因素对应力的影响等等。4.提供完整的MEMS应力测试研究报告，并针对任务完成情况形成可行性建议，保证研究成果具有实用性和推广应用的价值。任务背景：MEMS器件在现代工业、医疗、生物、环保等众多领域中得到了广泛应用，而应力传感器、压力传感器、加速度传感器等各种类型的MEMS传感器是其中非常重要的一种设备。利用MEMS技术制备的传感器，具有更高的精度、更小的尺寸、更低的功耗，可以在各种特定的应用场合下发挥出自己的优势。但MEMS器件的尺寸越来越小，对其应力测试的要求也越来越高。因此，对MEMS器件中应力的测量和分析技术的研究将对MEMS器件的设计和制造具有重要意义。