基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正的开题报告摘要：MEMS变形镜因其具有体积小、质量轻、响应速度快、功耗低的特点，已经广泛应用于光学微系统中。在光学微系统中，明确变形镜的平面度是非常关键的，因此需要开发一种可靠的测试平面度的系统。本次开题报告主要针对基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统进行误差分析与校正的研究，旨在解决该系统在使用过程中可能存在的误差及不足之处，提高系统的精度和可靠性，推动其在光学微系统领域的广泛应用。关键词：MEMS变形镜，平面度测试，相移干涉，误差分析，校正。一、研究背景及意义MEMS（Micro-electro-mechanicalsystems）是指集成了微小器件和微电子学技术的微型机电系统。其中，MEMS变形镜是一种应用极为广泛的MEMS器件，其可以通过微小的位移来控制光束的走向和焦距。因此，其被广泛应用于光学微系统中，如自适应光学、激光雷达、投影显示等领域。在光学微系统中，精确的光路控制非常关键，而MEMS变形镜的平面度是影响光路控制精度的关键参数之一。因此，精确测量MEMS变形镜的平面度至关重要，目前的MEMS变形镜平面度测试方法主要有激光干涉法、电容传感器法、像差法等，但这些方法都存在一定的局限性，例如成本高、误差大、难以实现在线测量等缺点。基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统是一种新型的测试方法，具有成本低、测量范围广、精度高、可实现在线测量等优点。然而，该系统在使用过程中可能会存在一些误差和不足之处，因此需要对其进行误差分析与校正，以提高其精度和可靠性。二、研究内容及方法本课题主要研究基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统的误差分析与校正方法，主要包括以下内容：1.系统误差分析：通过对系统中各个部件的特性进行测试和分析，确定系统中可能存在的误差来源、误差类型及其影响程度。2.误差校正方法研究：根据系统误差分析的结果，针对不同的误差类型和影响程度，研究相应的误差校正方法，包括软件和硬件两种方式。3.误差校正效果验证：通过实验验证所提出的误差校正方法的有效性和可靠性，评估校正后的系统的精度和稳定性。本研究主要采用理论分析与实验研究相结合的方法，利用MATLAB、ZEMAX等软件对系统进行建模仿真，并通过实验验证所提出的误差校正方法的有效性和可靠性。三、预期成果1.系统误差来源及其影响程度的确定。2.针对不同误差类型和影响程度的误差校正方法研究。3.误差校正方法的验证实验及结果分析。4.基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正的研究报告。四、研究进度安排1.阶段一（2021.9~2021.12）：系统误差来源和影响程度的测试和分析。2.阶段二（2022.1~2022.4）：基于误差类型和影响程度的误差校正方法研究。3.阶段三（2022.5~2022.8）：误差校正方法的验证实验。4.阶段四（2022.9~2022.12）：论文撰写及报告准备。五、参考文献[1]王修力,梁振峰,杜中成.MEMS变形镜光学控制技术综述[J].光学精密工程,2017,25(11):2675-2690.[2]杨奇志,曹德伟,齐保平等.MEMS变形镜的激光干涉测试方法[J].光学精密工程,2016,24(11):2772-2780.[3]李海英,龚振东,赵洋.基于相移干涉的微位移测量理论及应用综述[J].光学精密工程,2012,20(7):1476-1485.[4]胡海涛.MEMS变形镜的设计、制作及应用研究[D].大连理工大学,2019.[5]张琪,杨永正,孙仁志等.MEMS变形镜的光学性能及其应用研究进展[J].激光与光电子学进展,2015,52(8):801-812.