电子探针及其应用一、引言一、引言一、引言一、引言一、引言一、引言一、引言(EPMA、SEM区别)一、引言(EPMA/SEM-EDS得特点)一、引言(EPMA分析特点)一、引言(EPMA分析特点)大家学习辛苦了，还是要坚持一、引言(EPMA分析特点)一、引言(EPMA分析特点)二、电子探针X射线显微分析得分类及原理二、电子探针X射线显微分析得分类及原理二、电子探针X射线显微分析得分类及原理二、电子探针X射线显微分析得分类及原理二、电子探针X射线显微分析得分类及原理二、电子探针X射线显微分析得分类及原理三、电子探针X射线显微仪器得组成3、1、波谱仪(WDS)得结构与工作原理3、1、1、波谱仪3、1、2波谱仪WDS工作原理3、1、3分光晶体3、1、4X射线探测器3、1、5X射线记数与记录系统3、1、6波谱仪得特点波谱仪得特点:3、1、7波长色散谱3、2、能谱仪3、2、1能谱仪得工作原理3、2、2Si(Li)能谱仪得优点:3、2、3能谱仪得缺点:3、2、4能谱图3、3波谱仪与能谱仪得比较波谱仪与能谱仪得比较波谱仪与能谱仪得比较四、电子探针仪得分析方法及应用4、1电子探针仪得分析方法4、2试样制备试样表面必须抛光,在100倍反光显微镜下观察时,能比较容易地找到50μm×50μm无凹坑或划痕得定量分析区域。因为X射线就是以一定角度从试样表面射出,如果试样表面凸凹不平,就可能使出射X射线受到不规则得吸收,降低X射线测量强度。试样表面台阶会引起附加吸收。非金属材料得电导与热导都较差,在入射电子得轰击下将产生电荷积累,造成电子束不稳定、图像模糊、经常放电,使分析与图像观察无法进行。试样导热性差会造成电子束轰击点得温度显著升高,往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度。􀁺成分定性、定量分析,必须蒸镀碳导电膜。碳为超轻元素,对所分析元素得X射线吸收小,对定量分析结果影响小;不会产生元素得峰干扰(如Au~Zr)。蒸镀碳膜用真空镀膜仪。镀膜要均匀,厚度控制在20nm左右,为保证试样与标样镀膜厚度相同,标样与试样应该同时蒸镀。4、3定量分析4、4能谱定性分析(1)定点定性分析(2)线扫描分折(2)线扫描分折(2)线扫描分折(2)线扫描分折(2)线扫描分折(2)线扫描分折(3)面扫描分析(3)面扫描分析(3)面扫描分析(3)面扫描分析(3)面扫描分析(3)面扫描分析(3)面扫描分析4、5、电子探针仪得应用(1)组分不均匀合金试样得微区成分分析(1)组分不均匀合金试样得微区成分分析微区成分分析