镀膜机电子束扫描蒸发的数字化控制系统的研究的开题报告题目：镀膜机电子束扫描蒸发的数字化控制系统的研究背景：随着科学技术的不断进步，人们对各种高品质的薄膜材料的需求也越来越高。电子束物理气相沉积技术（EB-PVD）是一种制备高质量、高效率薄膜材料的重要方法。然而，目前很多电子束物理气相沉积器的控制系统仍采用传统的机械式操作，存在着操作难度大、监测精度低等问题。因此，开发一种数字化控制系统，使电子束物理气相沉积技术更加智能化、高效化，具有重要的现实意义和基础研究价值。研究内容：本项目旨在研究电子束物理气相沉积器的数字化控制系统。通过对电子束物理气相沉积器的结构及工作原理进行研究，探索开发一种基于单片机控制的数字化控制系统。该系统将实现对电子束扫描蒸发过程的精确控制及自动化控制，包括电子束照射范围、薄膜厚度、蒸发速率等多个参数的计算和调节。同时，研究将探讨如何对该系统进行优化及高效性能的测试。研究意义：本研究可以提高电子束物理气相沉积技术的可控性，降低生产成本，提高薄膜的质量，并推动电子束物理气相沉积技术的进一步应用。此外，该研究还可为开发其他高级材料的制备装备提供技术支持，具有广阔的应用前景。研究方法：1.通过文献资料搜集，了解电子束物理气相沉积器的结构及工作原理;2.研究数字化控制系统的基本原理，通过单片机控制电子束物理气相沉积器;3.根据实验需求编写程序进行调试和测试，优化数字化控制系统的性能;4.进行实验对比，验证该系统在电子束物理气相沉积器中的应用效果。预期结果：1.开发出基于单片机的数字化控制系统;2.实现对电子束扫描蒸发过程的自动化控制，包括电子束照射范围、薄膜厚度、蒸发速率等参数的计算和调节;3.提高电子束物理气相沉积技术的可控性;4.为其他高级材料的制备装备提供技术支持。参考文献：1.朱龙，张三峡，肖勇，等.电子束物理气相沉积技术的应用现状与发展趋势[J].材料导报，2018，32(10)：107-111.2.王军.单片机在电子束物理气相沉积器中的应用[J].电子设计工程，2017，25(18)：124-125。3.欧阳曾耀.波形生成器的设计及实现[J].江苏电机工程，2018，40(2)：219-222。