光学元件表面光洁度标准一.定义：表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制划痕大小，后者限制麻点大小。道子、亮路都统称为划痕。斑点、坑点、点子都称为麻点。规定长与宽的比大于4：1的为划痕；长与宽的比小于4：1的为麻点。当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。三角的面积为（低×高）/2=(a×b)/2三角等效直径D划痕：以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。（注意：美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度，只能以实际观察样版为标准。）这里的划痕级数就是通常的划痕号数，标准样版有10#、20#、40#、60#、80#5个级。2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，但元件存在最大划痕时，所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。例如：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，有2条60#长为3mm划痕。它的等效直径为20mm1/4D为1/4×20=5mm最大划痕的长度和为：3mm+3mm=6mm6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。3.当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数的一半。例：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，元件上有2条2mm的60#划痕，3条4mm的40#划痕。它的等效直径为20mm1/4D为1/4×20=5mm最大划痕的长度和为：2mm+2mm=4mm4mm<5mm。符合2条。但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：1．60#划痕长度为（2+2）；40#划痕长度为（4+4+4+4）2．60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×（2+2）/20；40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×（4+4+4+4）/203．所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：[60×（2+2）/20]+[40×（4+4+4+4）/20=36元件最大划痕级数为60；60的一半为60/2=30）36>30；因此，元件不合格。如左图所示的产品则20#划痕长度0.7mm。10#划痕长度2mm对于表面质量要求20-10该产品最大划痕长度1mm<1/5。所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：20×0.7/5+10×2/5=2.8+2=4.8<10，该元件划痕可判为20#大家学习辛苦了，还是要坚持4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，且元件不存在最大划痕时，所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数。例①：元件为10，表面质量指标60—40，有2条50#划痕2mm，1条40#划痕3mm，另2条40#划痕2mm，2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10mm。所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：[50×（2+2）/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66元件最大划痕为60#66>60；因此，元件不合格。5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个6.35mm面积的区域，不允许有4条或4条以上的大于等于10#划痕。6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。编号15的样品麻点：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径，规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。（注意：美军标的麻点与划痕不同，麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的，50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点）1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时，元件不合格。例：元件为20mm，质量指标要求为60—40，元件有1个直径0.5mm的麻点50>40元件不合格。3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍例：40mm×40mm的元件，质量指标要求为60-40，其中一个20mm的区域有40#点子一个，20#点子一个，10#点子一个，同时在另一个20mm区域中，20#点子2个，10#点子4个，5#点子1个。左图是本次样品的第11号。（图片是放大的不是实际尺寸）有1个5#点子，1