Fe基非晶结构弛豫、晶化及磁性能研究的中期报告此报告介绍了对Fe基非晶薄膜的结构弛豫、晶化和磁性能的研究。研究中使用的样品是Fe-Si-B-Cu非晶合金薄膜，通过磁控溅射在玻璃基板上制备。在制备过程中，通过控制沉积速率和退火温度来调节样品的非晶态和晶态态。通过X射线衍射（XRD）和电子探针显微镜（EPMA）对非晶样品进行分析，发现样品中存在微幅的晶粒。这种微米级别的晶粒对非晶态的物性会产生影响。因此，在晶化过程中，研究制备样品的微观结构变化变得更加重要。为了研究晶化过程中的结构演化，进行了差热扫描（DSC）和XRD测量。结果表明，样品在约500℃时发生明显的晶化反应，晶化后主要形成了bcc-Fe和Fe3B两种相。通过EPMA和原子力显微镜（AFM）观察，发现样品中的Fe3B相排列成链状结构，并且线性结构与非晶态中的铁原子排列方式有明显关联。这提示Fe3B所形成链状结构在晶化过程中起到了模板作用。最后，对样品的磁性能进行了研究。磁性测量显示，样品在非晶态时为软磁性，而在晶化后由于Fe3B相的产生，样品表现出明显的硬磁性。整个研究表明，Fe3B相的形成在Fe-Si-B-Cu非晶合金薄膜的晶化过程中发挥了关键作用，并对其磁性能产生了显著影响。