MEMS开关关键技术研究的中期报告本次中期报告主要介绍了MEMS开关关键技术研究的进展情况，包括以下几方面：1.MEMS开关基本原理及应用场景：介绍了MEMS开关的工作原理、结构形式及其在通信、传感器、计算机等领域的应用场景，特别是在5G通信系统中的应用前景。2.MEMS材料选取与加工技术：探究了MEMS材料的选取和加工技术，介绍了MEMS制造过程中的关键环节，如微形成工艺、薄膜工艺、微加工工艺等。3.MEMS开关性能测试与优化：针对MEMS开关的动态响应特性、电气特性等性能指标，进行了相关的测试，通过优化微结构、改进制造工艺等手段提高了开关性能。4.MEMS开关系统集成技术：将MEMS开关与电路系统集成，同时考虑了供电和控制等方面的问题，并且设计了一种可靠的封装方案。5.MEMS开关应用实践：针对不同领域的应用场景，研制出了不同的MEMS开关产品并进行了实际应用测试。其中，在5G通信系统中，我们成功研制了基于MEMS开关的重构型天线系统，实现了多波束选择和自适应波束跟踪，达到了比较好的通信效果。综上所述，本次中期报告对MEMS开关关键技术研究的进展情况进行了全面介绍，并且阐述了在不同领域应用的实践探索。后续我们将继续深入研究和探索新的应用方向，以期更好地促进MEMS开关技术的发展和应用。