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项目二、Cleaner设备的构成简介1二、Cleaner设备的构成简介2二、Cleaner设备的构成简介3表面改质（E-UV）三、Cleaner部件简介-搬入搬出CV三、Cleaner部件简介-EUVFunction：清除有机物。Principle：运用挥发方式清除有机物污染基板的有机物大多由于自身分子量过大很难运用挥发方式来清除。为了运用挥发方式来清除必须分解有机物、减小分子量。为此、运用能量较强的UV（紫外线）照射进行。分子量减小后的有机物、与被UV照射后生成的反应性较强的活性氧自由基反应，转化为CO,CO2,H2O等轻易挥发清除的物质。参照：分子量越小所形成的化合物就越轻、越轻易挥发。三、Cleaner部件简介-Brush种类简介HM:HyperMix三、Cleaner部件简介-其他洗净方式简介三、Cleaner部件简介-CascadeTankHepaFilterNozzle方式四、Cleaner设备操作简介—TouchPanelCheckList
