16×16元热释电红外探测器阵列微图形化工艺研究的中期报告本研究旨在探究16×16元热释电红外探测器阵列的微图形化工艺。在研究过程中，我们采用了多种技术手段，包括计算机模拟、原型实验等。首先，在计算机模拟方面，我们利用有限元方法对16×16元热释电红外探测器阵列的微图形化工艺进行了建模，探究了不同工艺参数对红外探测器阵列性能的影响。通过模拟计算，我们得出了一些重要结论，例如，工艺参数对红外探测器阵列的响应速度和噪声等性能指标影响显著。其次，我们进行了原型实验研究，验证了计算机模拟的结果。通过实验，我们制定了一系列微图形化工艺策略，如控制薄膜材料的厚度和平整度、优化制备工艺流程等，以提高红外探测器阵列性能。此外，我们还进行了性能测试，采用了多种测试方法对红外探测器阵列的各项性能指标进行了测试。测试结果表明，我们的微图形化工艺可以显著地提高红外探测器阵列的响应速度和信噪比等性能指标。综上，本研究在16×16元热释电红外探测器阵列微图形化工艺方面取得了一定的进展，并为进一步提高红外探测器阵列性能提供了一些有价值的思路和经验。