MEMS钹式压电复合换能器可行性研究的中期报告此次中期报告主要介绍了MEMS钹式压电复合换能器的可行性研究的进展情况。以下是报告的主要内容：1.研究目标本次研究旨在设计、制造和测试一款具有较高能量转换效率和较宽工作频率范围的MEMS钹式压电复合换能器，以满足小型移动设备的能量需求。2.设计与制造本次研究采用了压电陶瓷材料（PZT）和硅微加工技术制备了MEMS钹式压电复合换能器。该器件由两个钹式压电片压缩相接，中间夹层为硅橡胶，上、下部分分别与电极相连。3.测试通过实验测试，我们发现该器件在频率范围为200Hz至15kHz时，具有较好的能量转换效率，且在不同的压力下转换效率表现均较稳定。4.预期结果基于前期的实验结果，我们预计该MEMS钹式压电复合换能器可满足小型移动设备的能量需求，并可在更广泛的工作频率范围内实现高效能量转换。总之，目前我们已经完成了MEMS钹式压电复合换能器的设计与制造，并初步验证了该器件的可行性。接下来我们将进一步深入研究该器件的性能优化和应用场景。