微电子技术与产业群微电子技术与产业群微电子技术与产业群【摘要】微电子技术进步促进了微电子产业的发展，同时，以微电子产业为基础的许多领域也正在形成产业群发展浪潮。本文旨在探讨微电子技术与产业群的关系，研究微电子产业群，区分微电子相关性产业群和微电子产业集群，揭示其产业群的特殊性，深化我们对微电子产业群的认识，促进其健康、快速发展。【关键词】微电子技术;集成电路;产业群;产业集群;相关性产业群微电子技术的不断进步促进了微电子产业的快速发展，同时，也在以微电子产业为基础的许多领域产生了极富创造性的变革，从而引领了新一轮的产业群发展浪潮。本文旨在通过对微电子技术与产业群发展关系的研究，探讨微电子产业群的分类以及它们的特征，把握微电子产业群发展的基本要求，促进微电子产业群健康有序发展。一、微电子技术的发展微电子技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的系列技术，它包括系统和电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术。微电子技术除集成电路外，还包括集成磁泡、集成超导器件和集成光电子器件等。为便于分析，我们设定：研究的微电子技术主要限于集成电路的器件、工艺技术等领域。微电子技术始于1947年晶体管的发明，到1958年前后已研究成功以这种组件为基础的混合组件，1962年生产出晶体管―晶体管逻辑电路和发射极耦合逻辑电路。上个世纪70年代，由于单极型集成电路(MOS电路)在高度集成和功耗方面的优点，微电子技术进入了MOS电路时代。从1958年TI研制出第一个集成电路触发器算起，到2003年Intel推出的奔腾4处理器(包含5500万个晶体管)和512MbDRAM(包含超过5亿个晶体管)，集成电路年平均增长率达到45%。目前，微电子技术正在快速发展，其发展表现在三点：一是缩小芯片中器件结构的尺寸，即缩小加工线条的宽度;二是增加芯片中所包含的元器件的数量，即扩大集成规模;三是开拓有针对性的设计应用。其中微电子前沿技术包括：微电子制造工艺(元器件的生产、测试和封装等);微电子材料的研究;超大规模集成电路/混合信号/射频集成电路设计技术;微机电系统(MEMS)技术等。例如，微电子制造工艺中的微加工技术是制造微机电系统(MEMS)的主要手段。微加工技术包括IC制造技术(如光刻、薄膜淀积、注入扩散、干法和湿法刻蚀等)、微机械加工技术(如牺牲层技术、各向异性刻蚀、反应离子深刻蚀、双面光刻、键合，以及软光刻技术等)和特殊微加工技术。综观微电子技术发展，主要趋势表现在三个方面：一是器件的特征尺寸继续缩小。国外发达国家和地区正在向0.1微米以下阶段进军。二是重点发展系统集成芯片(SOC)。SOC进一步发展，可以将各种物理的、化学的和生物的敏感器和执行器与信息处理系统集成在一起，从而完成从信息获取、处理、存储、传输到执行的系统功能，这是一个更广义上的系统集成芯片。三是微电子技术与其他学科的结合将诞生新的技术和产业增长点。微机电系统技术(MEMS)和生物芯片等便是这方面的典型例子。前者是微电子技术与机械、光学等领域结合而诞生的，后者则是与生物工程技术结合的产物。二、微电子产业群的类型可以看出与上述微电子技术发展相伴生的是微电子产业群，该产业群的形成、发展和变革主要就是微电子技术促成的，微电子技术的发展在许多方面突破了资源环境的约束，不断创造出新的市场需求，全方位地拓展新的产业疆域。为了准确划分微电子产业群的类型，首先需要清楚产业群和产业集群的区别和联系。产业集群是美国学者迈克尔波特(MichaelE.Porter)在1990年《国家竞争优势》一书中正式提出的，按照他给其所下的定义，是在特定领域中，一群在地理上临近、有交互关联性的企业和相关法人机构，并以彼此共通性和互补性相联结。而产业群则是在产业链关系上、在地理领域上都有密切联系的企业和其他组织的联结共生体。因此，产业群和产业集群的区别是明显的，不应当把它们混同。当然，它们的联系在于产业群包含产业集群，产业集群是产业群的一种类型。按照产业链关系和地理区域关系，我们可以把产业群划分为相关性产业群和产业集群两种类型。同理，微电子产业群应当划分微电子相关性产业群和微电子产业集群。微电子相关性产业群就是涉及到系统和电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列产业共生体。这些产业的.形成和发展不是由于地理区域因素带来的，而是以技术联系、产业关系和产业结构为动因的。例如，集成电路产业的发展可以极大地推动航空技术、遥测传感技术、通讯技术、计算机技术、网络技术及家用电器产业的迅速发展，己成为世界各国极为重要的主导产业和战略产业之一。同时，该产业还有着极强的渗透性，几乎所有的传统产业只要与微电子技术结合，用集成电路进行智能化和信息化改造，就会使传统产业