压电薄膜研究进展苑琳目录TOC\o"1-3"\u摘要PAGEREF_Toc209IAbstractPAGEREF_Toc4846II1.前言PAGEREF_Toc2442011.1压电效应与压电材料PAGEREF_Toc1396611.2压电薄膜概述PAGEREF_Toc2780921.2.1压电薄膜的发展背景及研究意义PAGEREF_Toc106121.2.2压电薄膜特性参数PAGEREF_Toc282922.压电薄膜研究进展PAGEREF_Toc2404532.1压电薄膜制备方法PAGEREF_Toc3244232.1.1AlN压电薄膜的制备PAGEREF_Toc805832.1.2PVDF压电薄膜的制备PAGEREF_Toc139252.1.3PZT压电薄膜的制备PAGEREF_Toc1788652.1.4.ZnO压电薄膜的制备PAGEREF_Toc328962.1.5KNN基压电薄膜的制备PAGEREF_Toc1677462.2压电薄膜的应用研究PAGEREF_Toc2440372.2.1压电薄膜传感器PAGEREF_Toc214172.2.2超声换能器件PAGEREF_Toc924392.2.3声表面波器件PAGEREF_Toc29120102.2.4微机电系统（MEMS）PAGEREF_Toc13794103.结语PAGEREF_Toc2950212参考文献PAGEREF_Toc1102713致谢PAGEREF_Toc1952315PAGE\*ROMANI摘要介绍了压电薄膜的发展背景和研究意义，重点综述了PZT、PVDF、ZnO、AlN以及KNN基压电薄膜的制备方法以及所取得的研究成果，并对压电薄膜的应用研究进行了论述，最后简单讨论了压电薄膜发展所面临的机遇和挑战。关键词：压电薄膜；制备方法；应用研究PAGE\*ROMANIIAbstractThispaperintroducesthedevelopmentbackgroundandresearchsignificanceofpiezoelectricthinfilms,mainlysummarizesthepreparationmethodsandresearchachievementsofPZT,PVDF,ZnO,AlNandKNNbasedpiezoelectricthinfilms,anddiscussestheapplicationresearchofpiezoelectricthinfilms.Finally,itbrieflydiscussestheopportunitiesandchallengesfacedbythedevelopmentofpiezoelectricthinfilmsare.Keywords：piezoelectricthinfilm；preparationmethod；appliedresearchPAGE\*MERGEFORMAT18压电薄膜研究进展1.前言1.1压电效应与压电材料1880年，J.Curie和P.Curie两兄弟首先发现了电气石具有压电效应，1881年，他们通过实验验证了压电效应。当某些物质沿其一定的方向施加压力或拉力时，随着形变的产生，会在其某两个相对的表面产生符号相反的电荷，当外力去掉形变消失后，又重新回到不带电的状态，这种现象称为“正压电效应”；反之，在极化方向上施加电场，它又会产生机械形变，这种现象称为“逆压电效应”。换言之，机械能转变为电能即为正压电效应，电能转变为机械能为逆压电效应。具有压电效应的物质（电介质）称为压电材料。压电材料作为一种功能性材料，也是对电、声、光、热敏感的电子材料，普遍应用于工业部门和高科技领域中。20世纪40年代中期，压电材料开始广泛使用，因其独特性能，已被普遍应用于微电子器件、超声技术、换能器等多项工程技术领域[1]，逐渐成为材料发展应用中的重要构成。1.2压电薄膜概述采用一定方法，使处于某种状态的一种或几种物质的基团以物理或化学方式附着于衬底材料表面，在衬底材料表面形成一层新的物质，这层新物质就是薄膜。而具有压电效应的薄膜称为压电薄膜。1.2.1压电薄膜的发展背景及研究意义随着人们对电子、导航和生物等高新技术领域的发展要求越来越高，压电块体材料尺寸大、应用频率较低的特点限制了它在高频领域的应用。为了顺应信息技术的集成化、智能化、微型化、精确化发展，压电材料的薄