扫描电子显微镜SEM和能谱分析技术EDS.pptx
上传人:骑着****猪猪 上传时间:2024-09-15 格式:PPTX 页数:35 大小:12MB 金币:20 举报 版权申诉
预览加载中,请您耐心等待几秒...

扫描电子显微镜SEM和能谱分析技术EDS.pptx

扫描电子显微镜SEM和能谱分析技术EDS.pptx

预览

免费试读已结束,剩余 25 页请下载文档后查看

20 金币

下载此文档

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

会计学主要内容1扫描电镜的作用:2扫描电镜的工作原理样品表面激发的电子信号二次电子、背散射电子和特征X射线背反射电子:产生范围在100nm-1μm深度能量较高,小于和等于入射电子能量E03扫描电镜的主要构造收集二次电子时,为了提高收集有效立体角,常在收集器前端栅网上加上+250V偏压,使离开样品的二次电子走弯曲轨道,到达收集器。这样就提高了收集效率。收集背散射电子时,背散射电子仍沿出射直线方向运动,收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。4扫描电镜对样品的作用--加速电压、电子束与样品之间的关系4扫描电镜对样品的作用--二次电子与背散射电子之间的区别二次电子图像VS.4扫描电镜对样品的作用--物镜光栏、工作距离与样品之间的关系工作距离的影响5能谱仪(EDS)的工作原理6能谱仪(EDS)的结构优点1)快速并且可以同时探测不同能量的X-光能谱2)接受信号的角度大。3)仪器设计较为简单4)操作简单8仪器功能介绍及应用SEM/EDS的主要性能指标JEOL-6380/SEM的工作界面颗粒薄膜及涂层材料昆虫ElementEDAX-EDS的工作界面---区域分析ElementEDAX-EDS的工作界面---面扫描面扫描实例-Cu网线扫描实例-Cu网9电镜样品的制备(3)粉末样品的制备:导电胶--粘牢粉末--吸耳球--观察悬浮液--滴在样品座上--溶液挥发--观察(4)不导电样品:通常对不导电样品进行喷金、喷碳处理或使用导电胶形貌观察:喷金处理成分分析:喷碳处理a显露出所欲分析的位置b不得有松懈的粉末或碎屑c需耐热,不得有熔融蒸发的现象d不能含有液状或胶状物质,以免挥发e非导体表面需镀金或镀碳f磁性材料会影响聚焦,成像效果不好谢谢!/