摘要ＧａＮ系列材料在光电、能量装置等方面有着广阔的应用范围和市场前景。采用ＭＯＣＶＤ技术进行ＧａＮ系列材料生长具有明显优势。研发具有自主知识产权的ＭＯＣＶＤ系统具有十分重要的战略意义。而温度是ＭＯＣＶＤ系统中的极为关键的控制量。本文的工作就是设计一个能很好满足要求的温度控制器，主要工作包括了三方面。首先，设计了温度控制器的硬件，总体设计以简单和经济为基本出发点，尽量选用低价的高性能芯片以节省设计成本；并选择串行工作方式，最大程度的节约单片机Ｉ／０１：１。其次，设计了温控器的软件，主要包括ＭＤ采集模块子程序，Ｄ／Ａ控制模块子程序、各种接口子程序，并完成了整个软、硬件系统的调试。最后，本文采用了Ｆｕｚｚｙ—ＰＩＤ控制算法，该算法既具有ＰＩＤ控制器的动态跟踪品质和稳念精度，又具有Ｆｕｚｚｙ控制器动态响应好，达到了上升时『日Ｊ快，超调小的要求，取得了较好的控制效果。关键词：ＭＯＣＶＤ温度控制器ＳＴＣ单片机模糊．ＰＩＤ控制ＡｂｓｔｒａｃｔＧａＮｓｅｒｉｅｓｉｎｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃｍａｔｅｒｉａｌｓ，ｅｎｅｒｇｙｄｅｖｉｃｅｓ，ｈａｓａｇｏｏｄｅｆｆｅｃｔ，ａｂｒｏａｄｓｃｏｐｅｏｆａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎａｎｄｍａｒｋｅｔｐｒｏｓｐｅｃｔｓ．ＡｎｄＭＯＣＶＤｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｈａｓｏｂｖｉｏｕｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｉｎｇｒｏｗｉｎｇＧａＮｍａｔｅｒｉａｌｓ．Ｒ＆ＤｗｉｔｈｉｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌｐｒｏｐｅｒｔｙｒｉｇｈｔｓＭＯＣＶＤｓｙｓｔｅｍｉｓｏｆｇｒｅａｔｓｔｒａｔｅｇｉｃｉｍｐｏｒｔａｎｃｅ．ＴｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｏｆＭＯＣＶＤｓｙｓｔｅｍｉｓｃｒｕｃｉａｌｉｎｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌｖｏｌｕｍｅｓ．Ｍａｉｎｗｏｒｋｏｆｔｈｉｓｐａｐｅｒｉｓｔｏｄｅｓｉｇｎａｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒｍｅｅｔｉｎｇｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｐｅｒｆｅｃｔｌｙ；ａｎｄｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐａｌｔａｓｋｓｉｎｃｌｕｄｅｔｈｅｆｏｌｌｏｗｉｎｇｔｈｒｅｅａｓｐｅｃｔｓ．ＦｉｒｓｔＩｙ’ｈａｒｄｗａｒｅｏｆｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒｓｈｏｕｌｄｂｅｄｅｓｉｇｎｅｄ。Ｅｃｏｎｏｍｙ＆ｓｉｍｐｌｅａｒｅｂｏｔｈｔｈｅｋｅｙｐｏｉｎｔｓ，ｕｓｉｎｇｌｏｗ－ｃｏｓｔ，ｈｉｇｈ?ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｃＭｐｓｔｏｓａｖｅｄｅｓｉｇｎｃｏｓｔ；ｓｅｒｉａｌｍｅｔｈｏｄｓｏｆｗｏｒｋｉｓｓｅｌｅｃｔｅｄｔｏｍｉｎｉｍｕｍＳＣＭＩ／０ｐｏｒｔ．Ｓｅｃｏｎｄｌｙ，ｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒｏｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆｈａｒｄｗａｒｅｄｅｓｉｇｎｅｄｆｏｒｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｎｔｒｏｌｓｏｆｔｗａｒｅ．ＩｎｃｌｕｄｉｎｇＡ／Ｄａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎｍｏｄｕｌｅｓｕｂｒｏｕｔｉｎｅ，Ｄ／Ａｃｏｎｔｒｏｌｍｏｄｕｌｅｓｕｂｒｏｕｔｉｎｅ，ｔｈｅｓｕｂｒｏｕｔｉｎｅｏｆｏｔｈｅｒｉｎｔｅｒｆａｃｅｓｃｉｃｕｉｔｓ，ａｎｄｃｏｍｐｌｅｔｅｄｔｈｅｅｎｔｉｒｅｈａｒｄｗａｒｅａｎｄｓｏｆｔｗａｒｅｓｙｓｔｅｍｄｅｂｕｇｇｉｎｇ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ｔｈｉｓｐａｐｅｒｐｒｅｓｅｎｔｓＦＵＺＺＹ?ＰＩＤｃｏｎｔｒｏｌａｌｇｏｒｉｔｈｍ，ａｓｗｅｌｌａｓｗｉｔｈＰＩＤｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒｄｙｎａｍｉｃｔｒａｃｋｉｎｇｑｕａｌｉｔｙａｎｄｓｔｅａｄｙｐｒｅｃｉｓｉｏｎ，ｂｕｔａｌｓｏｈａｓｇｏｏｄｄｙｎａｍｉｃｒｅｓｐｏｎｓｅＦｕｚｚｙｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ，ｆａｓｔｒｉｓｅｔｉｍｅ，ｔｈｅａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｓｍａｌｌｏｖｅｒｓｈｏｏｔ，ａｎｄａｃｈｉｅｖｅｄｂｅｔｔｅｒｃｏｎｔｒｏｌｅｆｆｅｃｔ．Ｋｅｙｗｏｒｄ：ＭＯＣＶＤＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒＳＴＣ－ＳＣＭＦｕｚｚｙ?ｌｉｄ第一章绪论第一章绪论本章主要介绍了半导体的发展历程和发展方向、ＭＯＣＶＤ概况，ＭＯＣＶＤ的基本原理，温度控制在ＭＯＣＶＤ中的位置，以及本文作者的工作和章节介绍。１．１ＭＯＣＶＤ概况ＭＯＣＶＤ（ＭｅｔａｌＯｒｇａｎｉｃＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ），也叫ＯＭＣＶＤ（Ｏｒｇ强ＭｅｔａｌｌｉｃＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ），ＭＯＶＰＥ（Ｍｅｔ