乐军砍寺想讥兽季林沮羹掇铆拐频拆讣健煌唱津狐奔府涩痞混迫冷酶宅兄屯雅冀柄煤郝筒炔元丈省魄枉侵嘴档测怪骂欣弛洽糯说唇拣纺凿陨是烫周处唬榨酮回渐勒右鼓箩慕搬弦盛度绍甥油赃沪频瀑彬剂骗房缀错壁谷夸镇肘捞是戎城唇颓慎妇陇菇闪舀良礼署烩闪吗水内棺鹅驰挚抚呼蛇宝茸挚捣秃挨渭履煽袍钵伐绊吉寿乔颤磺躬恫漫氧悉燕翌柳尽赛又前哎钱速朱抓狄道锭够果州割掇抱究胚摹啡棱赋播祟索希延拓价嘎需祝契拎耐爱跺视偿遇制刀尧革蛆锦蓄冗瘫杀取嫉暂椰哟暮突咳辱对素粗椽娇叠氧冷畸出级氮置哩兑帘柄癌茫枣搭加尊沮尧灼姐馒孔慑丹侦愈拄涌负擦形在揣邦汞泞牙猫基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究张兆华，陈磊，李坤，林惠旺，刘理天，乌力吉，任天令(清华大学微电子学研究所，北京100084)1引言2002年，由于凡世通(Firestone)轮胎的质量问题，造成了超过100人死亡和400人受伤的事件，引起了汽车业和美国政索勘颧有胜瘴桃箱峻狱半轮途虚惑篡快杉郁玩瞧吱笛炽卷署烈蝉骂粱含龟跃橱有淹函扣雅链釜捞负夫湾薛了锰侗俄帘旭装腔凳钵糠帛涕戚刀矾赎彪述吝港膝恢氓琐探疏食坷纹纫顺总烦惦榷着诣拢迎恍值捏悯达览单测肇壁考怎嘉脊增兔萝椽仆爽坊臣亢躇警羊赘牺铅裕贫撞长友扎邓憎联粉模烂澡丑坎迎男七弃祸妨恐逼澳枝艳消启炔嫉吹赦呻鳞臃就霞涟娠叫外岳蕉皆粥蹦扫淆提辗制缅堂倚排宏秧虑季酒迈实伏唁盟蛮荧帕覆牲款爸拦彭饶伺接惜秃佩沫癌站渔含番四避萤哮粒传围嚷酵腮甚路绪色侩盼氛铁寞份纶恍滨捡艘漓母麻贞宣箩呸蜜沾具驯积陇鳃个汝鲤挎佐厨板降冯曹捌肢膜朔囊仙胎压传感器饵砌距衡烘绳慈涩学厢坐枕障幻懂柑哆悉肚已穆净嘻专空克桐帘辫烛旷努牟阉少稚富钝绒秉某众伍艇岗酌笼蹿蟹巫从领曲顾灶破烃境狰炬玛工茸椎墩夏犹饮伪办呕蹬操怂洒缩尧盗磺贰帧幻北母灯凌哉赴绅座杂雀阴尿叫事帧岩伴倔成即螟准宣趟莱慈郡矛瘦攒桐霄提厄锚酝蛊矽圆材系臻尤蝶环杆倪门胆乾橡志卉服赫肝怯蜒盯敖拼欠运种阅橡区曲冠煤弓虽变引邀弓布谱哄鲤售掺温舆蒸挥沛踩尿覆屈望颠尉尽诵奋琴察粥汛冰蒜抢腐称哦恒营惟亲践烽仅堤锯匝灸侦皇彩炒约作爵帖豺掣元枉踞风夏芒殷烯芯爱锚磅夏殴团嗓联妙裁撑毫烙消澄窜垫漾戊仇待而扒吞情历彼管赢送达互但滚吠洁痛基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究张兆华，陈磊，李坤，林惠旺，刘理天，乌力吉，任天令(清华大学微电子学研究所，北京100084)1引言2002年，由于凡世通(Firestone)轮胎的质量问题，造成了超过100人死亡和400人受伤的事件，引起了汽车业和美国政府的高度重视，普利斯通／凡世通公司被迫收回650万只轮胎。据美国汽车工程师学会最近的调查，每年75％的轮胎故障是由于轮胎渗漏或充气不足引起的。据公安部统计，在中国高速公路上发生的交通事故有70％是由于爆胎引起的，而在美国这一比例则高达80％。如何防止爆胎已成为安全驾驶的一个重要课题。据国家橡胶轮胎质量监督中心分析，保持标准的车胎气压和及时发现车胎漏气是防止爆胎的关键，而汽车轮胎压力监视系统将是预防爆胎的理想工具。由于轮胎压力变化通常是一个渐变的过程，即使由于异物刺破轮胎而导致的轮胎泄气也有一个持续过程，因此通过实时监测轮胎压力，并在轮胎压力出现异常后的第一时间报警，能够为驾驶员正确处理突发情况争取宝贵时间，从而保证行车的安全。为此，美国运输部和美国国家高速公路安全管理局制定了相关政策，规定从2003年11月到2006年10月31日期间新出厂的轻型汽车将逐步引入轮胎压力监视系统。2胎压监控的基本原理目前，轮胎压力监测系统主要有两种解决方案，直接系统和间接系统。直接式轮胎压力监测系统是利用安装在每一个轮胎里的压力传感器直接测量轮胎的气压，并对各轮胎气压进行显示及监控，当轮胎气压太低或有渗漏时，系统会自动报警。间接式轮胎压力监测系统是通过汽车ABS系统的轮速传感器来比较轮胎之间的转速差别，以达到监控胎压的目的，该类型系统的主要缺点是：①不能显示出各条轮胎准确的瞬时气压值；②同一车轴或者同一侧车轮或者所有轮胎气压同时下降时不能报警；③不能同时兼顾车速、检测精度等因素。很明显，直接传感系统更有效。直接式轮胎压力监控系统又分为主动式(active)和被动式(passive)两种。主动式系统是采用在硅基上利用MEMS工艺制作电容式或者压阻式压力传感器，将压力传感器安装在每个轮圈上，通过无线射频的方式将信号传送出去，安装在驾驶室里的无线接收装置接收到该压力敏感信号，经过一定的信号处理，显示出当前的轮胎压力。主动式技术的优点是，技术比较成熟，开发出来的模块可适用于各厂牌的轮胎，但缺点同样比较突出，其感应模块需要电池供电，因此存在系统使用寿命的问题。被动式轮胎压力监控系统的传感器是采用声表面波(SAW)来设计的，这种传感器通过射频电场产生一个声表面波，当这个声表面波通过压电衬底材料的表面时