德豪润达芯片事业部ETiChipBU./NUMPAGES2试卷总分合格分数线考试时间工艺段姓名工号日期得分100分90分30分钟工艺段：PHOTO机台：Stepper考试纪律:考生在考场内必须保持安静，不准交头接耳、左顾右盼；不准偷看、抄袭或有意让他人抄袭，不准接传答案或者交换答卷；考生在开考前5分钟提前进入考场，开考15分钟后禁止进入考场；注意事项：1.请认真阅读题目,如题目有任何疑问或者您认为题目的描述不清晰时,请及时询问；2.在回答问题时,多答不加分,但漏答、误答均会被扣分；3.答题时要求字迹工整；一、选择（单选或多选）总分每题分数批卷人得分2051、进行曝光作业时，应选择（A）A.ExecuteexposureB.ContinueexposureC.HandlewaferD.Handlereticle2、进行平坦度测试时应选择（C）A.ExecuteexposureB.HandlewaferC.FlatnessD.Handlereticle3、机台出现故障需要退出wafer时应选择（B）A.HandlereticleB.HandlewaferC.FlatnessD.Diagnosis4、如果需要换光刻板（mask/reticle）时，应选择PROCESS下的哪个程序（D）A.ExecuteexposureB.ContinueexposureC.HandlewaferD.Handlereticle二、判断总分每空分数批卷人得分2551、退出光刻板应选择handlewafer（×）2、机器曝光时出现error作业员可自己解决故障（×）3、非测机时间Goldenwafer一定要放在指定的Cassette内，以免与其他Dummywafer混淆（√）4、run货时将cassette放在index上，正确放置后ready灯会显示红色（×）5、机台在运行时可以随意打开机台门（×）三、填空总分每空分数批卷人得分2552、run货时根据RUNCARD来选择Recipe。3、目前stepper使用的recipe是2416，用的是Mono/iljin厂家的wafer4、PSS2416recipe的曝光时间为243.00四、问答总分每题分数批卷人得分3015Stepper紫外灯寿命(LAMPHOUR)上限为多少?如果超出上限应如何处理？1500小时，通知负责设备的相应工程师更换灯泡2、操作stepper的注意事项？操作时一定要对板，changealign，recipe选对2416mono，2416iljin，2416hansol光照板一定与runcard对应，wafer放得位置选好，各项参数一定要在所用范围内那些stepper机台用来runPSS,那些stepper机台用来runchip?Stepper#2/4/5只用来runPSS,Stepper#1只用来runchip,Stepper#3可以runPSS,也可以用来runchip,