料盘强渗时间.ppt
上传人:sy****28 上传时间:2024-09-14 格式:PPT 页数:5 大小:3MB 金币:18 举报 版权申诉
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起初环内的料盘没有空位,当1608进到扩散后,1638进到环内后没有强渗时间在下一周期就出料到了扩散区,1638没有经过强渗(在强渗区待了约8分钟)。空白处42的位置是1608和1638出来的位置。2049号料盘从加热区到达强渗区后,强渗时间时间实际值变为0,在下个周期开始的时候2049号料盘出料到了扩散区。