ZrN及其多层膜的制备和性能研究的中期报告本研究旨在研究和探索ZrN及其多层膜的制备和性能。中期报告内容包括以下两部分：1.实验进展本实验采用磁控溅射的方法制备ZrN及其多层膜。经过不断实验和优化，我们成功制备出了均匀、结晶度高、厚度一致的ZrN薄膜，同时也成功制备出了ZrN和TiN、CrN、AlN等多层膜。我们对这些膜进行了超微硬度测试、压缩应变测试以及X射线衍射测试，测试结果表明，这些膜具有良好的机械性能和热稳定性能。2.未来工作在下一步的工作中，我们将重点研究以下两个方面：（1）ZrN及其多层膜的结构与性能之间的关系。通过进一步的测试和分析，我们将探究膜的微观结构、晶粒大小等因素对膜性能的影响，以及多层膜中不同材料的厚度比例对整个多层膜性能的影响。（2）ZrN及其多层膜在工业生产中的应用研究。我们将针对膜的热稳定性、机械强度等机能进行深入的研究，探索其在刀具、模具等领域的应用前景。总之，我们相信，通过不断深入地研究和探索，ZrN及其多层膜将在材料科学领域具有广阔的应用前景。