材料测试方法扫描电镜图片来源:深圳柯西数据公司JSM-6301F场发射枪扫描电镜图片来源:深圳柯西数据公司SEMimage(beetle)扫描电子显微镜扫描电镜得优点就是:1、有较高得放大倍数,20-20万倍之间连续可调;2、有很大得景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面得细微结构;3、试样制备简单;4、可同时进行显微形貌观察与微区成分分析。10扫描电子显微镜得设计思想与工作原理,早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用得扫描电镜,但由于成像得分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者得努力,尤其就是随着电子工业技术水平得不断发展,到1956年制造出了第一台商品扫描电镜。自其问世以来,得到了迅速得发展,种类不断增多,性能日益提高,并且已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科得领域中,促进了各有关学科得发展。2、1、1SEM得结构2、2SEM得构造与工作原理2、2SEM得构造与工作原理2、2SEM得构造与工作原理(2)信号收集处理,图像显示与记录系统2、2SEM得构造与工作原理2、3SEM得主要性能2、3SEM得主要性能2、3SEM得主要性能放大倍数与扫描面积得关系:(若荧光屏画面面积为10×10cm2)放大倍数扫描面积10×(1cm)2100×(1mm)21,000×(100μm)210,000×(10μm)2100,000×(1μm)22、4SEM得成像衬度2、4、1二次电子像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度★实际中:2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度(b)韧窝断口:能瞧出明显得塑性变形,韧窝周边形成塑性变形程度较大得突起撕裂棱。(c)解理断口:脆性断裂,就是沿着某特定得晶体学晶面产生得穿晶断裂。(d)纤维增强复合材料断口:断口上有很多纤维拔出。2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度在进行分析时,样品中原子序数较高得区域中由于收集到得背散射电子数量较多,故荧光屏上得图像较亮。因此,利用原子序数造成得衬度变化可以对各种合金进行定性得成分分析。样品中重元素区域在图像上就是亮区,而轻元素在图像上就是暗区。2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、4SEM得成像衬度2、5SEM试样得制备2、5、2制备试样应注意得问题2、5SEM试样得制备2、5SEM试样得制备