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扫描电镜第一节基础知识光学透镜分辨率可见光的波长在390纳米到760纳米之间，而显微镜的分辨率最多也只能是其所使用光源的半波长的大小，所以光学显微镜的理论极限分辨本领也就在200纳米左右电子显微镜的产生电磁透镜第二节扫描电镜成像原理在扫描电镜中，电子枪发射出来的电子束，经三个电磁透镜聚焦后，成直径为几个纳米的电子束。末级透镜上部的扫描线圈能使电子束在试样表面上做光栅状扫描。试样在电子束作用下，激发出各种信号，信号的强度取决于试样表面的形貌、受激区域的成分和晶体取向。安放在试样附近的探测器把激发出的电子信号接收下来，经信号处理放大系统后，输送到显象管栅极以调制显象管的亮度。电子束与固体样品相互作用二次电子成像原理图Edgeeffect(secondaryelectronemissiondifferingwithsurfacecondition).13SpecimenICchip.Thehighertheacceleratingvoltage,thegreateristheedgeeffect,makingtheedgesbrighter.Ti-Fe共晶合金16172.背散射电子成像原理TheCheliceraesofaCentipedeFlyTheWingofaButterflycallmeFourEyes242526PollengrainanarrayofelectronfieldemittersthreelevelsofcopperinterconnectmetallizationinIBM'snewfasterCMOSintegratedcircuits第三节扫描电镜的构造一、电子光学系统1.电子枪ElectronGun2.电磁透镜ElectronLenses扫描电镜有三个聚光镜3.扫描线圈Scanningcoils4.样品室Samplechamber二.信号的收集和图象显示系统三.真空系统Vacuum39第四节主要性能SEM分辨率测定方法第五节样品制备
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