圆角方环微型谐振器的特性研究的中期报告中期报告：圆角方环微型谐振器的特性研究研究背景与目的微型谐振器是微电子学中的重要研究领域。由于其具有小体积、高品质因数、高灵敏度等优点，已被广泛应用于振动传感、频率控制、滤波器等领域。本研究旨在研究一种新型圆角方环微型谐振器的特性，深入了解其物理原理与优劣势，为其实际应用提供理论基础和技术支持。研究方法本次研究采用了有限元软件ANSYS对所设计的圆角方环微型谐振器进行有限元分析与模拟。通过在电场感应下对谐振器震动进行分析，研究其共振频率、振型、固有品质因数等特性。研究进展及成果通过有限元分析，我们得到了圆角方环微型谐振器的共振频率为12.69MHz，相对固有品质因数为1300。同时，我们还观察到谐振器的振型为一种充分利用谐振器空间、能量密集的模式。这种振型的存在，有助于提高谐振器的感应电容变化量，提高其灵敏度。研究结论与展望本研究说明了圆角方环微型谐振器的物理特性和优劣势。相对于一般的矩形谐振器，圆角方环微型谐振器在空间利用率、感应电容变化量和品质因数等方面有较大优势，是一种值得进一步研究和推广的微型谐振器类型。接下来，我们将着眼于实验验证，实现其实际应用。