第2章超精密机械加工方法超精密切削是使用精密的单晶天然金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接加工出超光滑的加工表面(粗糙度Ra0.02～0.005µm，加工精度<0.01µm)。用于加工：陀螺仪、激光反射镜、天文望远镜的反射镜、红外反射镜和红外透镜、雷达的波导管内腔、计算机磁盘、激光打印机的多面棱镜、录像机的磁头、复印机的硒鼓、菲尼尔透镜等。超精密切削加工的机理超精密切削的切削力特性超精密切削的最小切削厚度超精密切削的最小切削厚度超精密切削表面的质量超精密切削加工的特点超精密切削加工的特点超精密切削加工的特点超精密切削加工的特点超精密切削加工的特点超精密切削加工的特点超精密切削加工的特点保证超精密切削加工质量的措施与方法金刚石刀具主要是对铝、铜及其合金等材料进行超精密切削，而对于黑色金属、硬脆材料的超精密加工，则主要是应用超精密磨削加工。所谓超精密磨削加工，就是利用细粒度的磨粒和微粉对黑色金属、硬脆材料等进行加工，以得到高加工精度和低表面粗糙度值。超精密磨削机理超精密磨削的工艺特点超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超硬材料微粉砂轮超精密磨削技术超精密砂带磨削技术超精密砂带磨削技术超精密砂带磨削技术超精密砂带磨削技术超精密砂带磨削技术超精密砂带磨削技术2.3超精密研磨与抛光研磨加工的机理研磨加工的机理抛光加工的机理抛光加工的机理影响超精密研磨、抛光的主要工艺因素化学机械抛光化学机械抛光化学机械抛光