第34卷第1期微电子学Vol.34,№12004年2月MicroelectronicsFeb.2004文章编号:1004-3365(2004)01-0013-05工业工程部门在集成电路制造企业中的作用与职责邵志芳,钱省三(上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心,上海200093)摘要:随着境外在我国大陆投资的不断升温,境外公司中应用颇为成功的工业工程在大陆的应用也日见广泛。尤其是在半导体产业中,一些由外方或台资方控股的半导体制造企业已经设有独立的工业工程部门,负责从建厂设计到生产管理、质量管理等各方面的工作。文章简要综述了半导体制造厂工业工程部门的职责和所起的作用,希望能引起业界,特别是尚未建立工业工程部门的企业,对工业工程的重视,以推进工业工程在我国大陆的应用。关键词:工业工程;半导体制造;生产管理;质量管理中图分类号:TN405文献标识码:AFunctionsandResponsibilitiesofIndustrialEngineeringDepartmentinSemiconductorManufacturingFactoriesSHAOZhi-fang,QIANXing-san(InstituteofIndustrialEngineering,MicroelectronicsDevelopmentResearchCenter,ShanghaiUniversityofScienceandTechnology,Shanghai200093,P.R.China)Abstract:WithincreasingoverseasinvestmentintheChinesemainland,IndustrialEngineering(IE),whichwassuccessfullyusedbyoverseascompanies,hasfoundmoreandmoreapplicationsintheMainland,especiallyinthesemiconductorindustry,whereIEdepartmenthasbeensetupinforeign-orTaiwan-fundedenterprisestoperformtasks,suchasfacilitylayoutdesign,productionmanagementandqualitycontrol.AreviewismadeonthefunctionsandresponsibilitiesofIEdepartmentinsemiconductormanufacturingfactories,inhopeofarousingattentionsoftheindustry,especiallythoseenterprisesthathaven'tsetupIEdepartments,soastopromotetheapplicationofIEintheChinesemainland.Keywords:IndustrialEngineering(IE);Semiconductormanufacturing;Productionmanagement;QualitycontrolEEACC:2520很大的变化和扩充,把IE人员集中起来,设置独立1引言IE部门的企业越来越多。20多年前,国外专家对欧美近4000家大、中型企业进行的调查表明,有98%在工业工程(IE)初创时期,其内容主要是时间的企业设置了独立的IE部门[1]。在中国大陆,虽然研究、动作研究、工作简化、质量控制、工资激励、业IE从1990年代初期才开始引入,但是,现在已经有绩评审、工厂布置、物料搬运和生产计划等。在组织越来越多的企业从自发的应用IE技术转变为建立体制上,大多数企业都把IE工作分散设置在几个有起对决策起参谋作用的IE部门来开展IE工作。这关部门中,如设在工程开发部门、生产制造部门或企些部门在名称上可能各有不同,但所从事的工作都业管理部门,而很少设置独立的IE部门。二战后,特是与IE相关的。别是从20世纪60年代以来,IE的职能和内容有了在我国的半导体制造业,已有不少半导体制造收稿日期:2003-01-13;定稿日期:2003-03-0514邵志芳等:工业工程部门在集成电路制造企业中的作用与职责2004年厂成立了独立的IE部门,负责设施规划与设计、物这些正是IE工程师可以发挥其专业特长的领域。流系统设计、产能计算、成本分析、流程改善、资料分3)半导体制造业的产能提升、设备利用(OEE)、析等工作。本文对半导体制造厂IE部门的职责与作产品合格率(Yield)的提高已不再单纯是技术上