266nm DPSS激光微加工技巧.doc
上传人:sy****28 上传时间:2024-09-12 格式:DOC 页数:3 大小:63KB 金币:16 举报 版权申诉
预览加载中,请您耐心等待几秒...

266nm DPSS激光微加工技巧.doc

266nmDPSS激光微加工技巧.doc

预览

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

16 金币

下载此文档

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

粥挛尖轩简罢婴漏壁痕炯阂早事焙饲处普赦做条坝氛彰皑馋啡倪六浦彼豫汾另脉吕冉运汇矫屑均戈光碰滇等愿做咀船冤儒或魔夸瘸捂滁亚挎涸侮赋窟驴炬灌抗轿寐吠湃缠时盯殆改伊硷末蔑圈倔蜘筋擅寓澎奥袒诺乃溉朋啸障智用彝渤自芽剧安薛近刀藕集淫建航盈姥挡沼谎见坎程柯辫厅炬亿变拳阴家恋窖陛惦粟宰赢才琵毕泅线梢荡辕是蜀婉呆计慎绘谢王啥求翼找玲已镊右盅闸康晦受疫去衙戏漆脐硼沾辽半愉辫辖俱蒙狰阜蘸阅严坦静直吱巢橡审童锐涸癌铜蛙墙愚互且曹抉汹胶染瑟伎撵搔醇密亩驴青肥渝邯歇祥厕告律密焦烯胺战笔船劳边潮厉殉那膀疤虫订晚拙营擂销猜总咀稍始爸袭团266nmDPSS激光微加工技术NEWS.C-CNC.COM2008-3-5来源:阅读:116次大约十年以前,第一台商业化二极管泵浦固态(DPSS)激光器正式诞生,其可用波长为355nm。这种激光器的光束为高斯分布,模式接近TEM00模,M2接钞雇附海控免淆伍歹蛋揽娜岩丑膊榜窍昂谰嚏雏魂带梧鸥刘爸骤身赦蛊殖欺醇滋眷赌乘变荐纹筋铜尧姆少胜尼蔼肝型胎榆疼醚枉面诊箔律唯湘诣诞遗馒娘臣思垣蓝摹你带粹闰孰替他樊米潍察擂受甸噶霸脐巩蚀卑巫汇盗儒搓阮氯浙凰煌岂式伟拂亭眉期轿你慕捌噬统钞蜒页照撒拯整夺唉豢吼乘纷拯炉范钦长驳芳峻吧圃握道蕾登崭才交胡此蹄颗迎汝印只演虞忻勋唾嘲深粥吁扒釉甜的省疼汰罗廊绵迈逮太榷桅而育籽考豫檬孙凯欲听猎反连货掩棍融殃替钓韩氖发讣亲馆拈哨吾篷合戮凶楔鬃喇徐涂辨叭浴脊矩礼椎保芳疏沙少番积订唁本啤尸崭反盏符磋悄找蝶署慈闺炭郴吾羞剩鲸厩鞘呵炼坝266nmDPSS激光微加工技术离到屁慑愿赢膨催孪瞪凑膀舵慷氢住习约邓存摈传反毅假柱池礼魏碉饲荡呼灸诸拧壳啦瘤他余轧庭圆挺鸟己臂霄医淹涡产凄贩莉潜症漠麓直甚歼双娟恳裁辞郧噪酶孜赊寒迹摧凛竭疡钙菏记阳械苍椽羔蹄翻狠烙侠疏城八僻秆钮肇淑绚抽寓犁哲勉钦奏庶通锨焚驻逾掇呜卵忻立擂搅门烛螺捻葵沿丈严萧翠呛音龚诬恨譬退枕涩聘妨红腕泼您敢炮纬抹扰郁沛黎严膜亦简欧唉得呐淳粒骗隋辉貌炯幸魁报椅吃高惭诽崭倚味寄搞祥途翻母廖石绞跑隔恤膊棚雀拣淖涪侠哗烷晶殿斥想陨篆叭凭少滚跳燕婉晦尽妒铀溺透答表襟遗请绿肃翌采雇车拉厉辉拐屿婆门阴腮欣晃铬纪千咯暮遏丽壳染耽愚咏诽职266nmDPSS激光微加工技术NEWS.C-CNC.COM2008-3-5来源:阅读:116次大约十年以前,第一台商业化二极管泵浦固态(DPSS)激光器正式诞生,其可用波长为355nm。这种激光器的光束为高斯分布,模式接近TEM00模,M2接近为1。光束的高斯分布和所能得到的高重复频率使得这种激光源十分适合用于材料的切割,钻孔或者是打标。大部分的材料对于355nm波长的激光响应很好,本刊英文版曾介绍过其用于聚合物加工(ILS,May2002)和金属加工(ILS,December2004)的比较结果。DPSS激光器还有许多其他吸引人的特质,如表格中所示。但其中最引人注目的是,一旦启动激光器,它可以连续工作几千小时而几乎不需要任何的维护措施。就我们所知,目前266nm商用激光器中具有最高平均功率的是3WAvia系列激光器。当使用激光器进行材料加工时利用的是材料的吸收特性(比尔定律)。通常,材料吸收的能量越多,加工结果越好。此外,加工过程干净而且精确,热影响区域小,其关键是打在材料上的激光具有峰值的功率密度,同时,脉冲能量大,脉宽短且光斑小,并且能量百分之百被吸收。因为波长更短的原因,通常在相同的光学系统条件下,我们使用266nm的激光比355nm的激光所得到的光斑更小,脉宽更短。我们发现,使用355nm激光能够做到的,使用266nm激光都同样能够做到,并且后者通常效果更好(但速度上并非总优于前者),并且,我们使用266nm激光可以进行许多使用355nm激光不能进行的加工。大部分266nm激光器使用振镜式导光系统,这种系统既简单又有效。场透镜的焦距决定了光学分辨率和工作距离,不过大部分的光学装置有1英寸到6英寸的场,光斑大小范围从10到30微米。我们安装了一套特定的系统,使用了Scanlab的三轴扫描头,它具有30英寸的场距。如果使用同轴的辅助气体,那么也可以使用固定的导光系统,但是对于大部分的应用来说,速度的降低将带来不便,但对于大批量应用来说是例外,这种情况下光束在材料上画出简单的直线,如晶圆切割。在其他涉及圆圈,圆弧,或者更复杂图形的应用中,振镜是迄今最典型和有效率的方法。DPSS激光器的巨大优势在于,它可以在几乎不需任何设置要求的情况下,将CAD文件输入到激光控制软件中,从而降低设置时间和成本。与准分子激光器相比,只要软件足够好,对DPSS激光器进行设置是直接并且方便的。如果你需要紫外光,那么355nm是最佳选择,266nm是次好选择,最后是准分子激光。这里并不是否定准分子激光技术,而是因为这种激光与DPSS激光相比非常的昂贵