MEMS热辐射红外光源的研究的中期报告中期报告1.背景红外辐射技术在现代工业、医疗、军事等领域中得到了广泛应用。现有的红外光源主要有热电偶、红外半导体激光二极管、石墨烯、金属加热器等。这些光源在不同领域中都有自己的优缺点。MEMS热辐射红外光源是一种新型的红外光源，利用微机电系统（MEMS）技术在微尺度上制作高温红外辐射源。该红外光源具有体积小、功耗低、响应速度快、温度稳定性好等优点，尤其适用于小型红外探测系统、无人机等需要场景中的快速响应的场景中。2.研究内容本次研究旨在设计并制备具有高温红外辐射特性的MEMS热辐射红外光源。目前已完成的工作包括：2.1设计MEMS热辐射红外光源的结构本次研究设计了一种基于MEMS平台的红外光源结构，其结构如图1所示。该结构由金属有机化合物薄膜、长宽比为10:1的微加热器和微加热器上方的薄膜隔离层组成。图1MEMS热辐射红外光源结构2.2制备MEMS热辐射红外光源利用微纳加工技术制备出了该结构的MEMS热辐射红外光源。制备过程中主要步骤包括：2.2.1制作SiO2薄膜使用PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术在硅衬底上制备薄膜SiO2。2.2.2制作金属有机化合物薄膜通过溶胶凝胶法制备金属有机化合物薄膜。2.2.3制作微加热器利用电子束光刻技术在SiO2薄膜上制作微加热器。2.2.4制作薄膜隔离层使用PECVD技术在微加热器上方制备薄膜隔离层。2.2.5装配MEMS热辐射红外光源将制备好的各组件装配在一起，得到完整的MEMS热辐射红外光源。3.下一步工作下一步将对该MEMS热辐射红外光源进行温度和辐射功率测试，并对其性能进行评估。在评估出其性能后，将对其应用进行研究和探索。