LINE-TECH（莱因泰可）北京LINETECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程，属性特征终于诞生出今天的M系列，MFC/MFM产品。•质量流量检测•不因温度和压力的波动LINETECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀而失准膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射•方便型的流量控制系统台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直•高准确度拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生•拒绝漏气物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药•耐高压（90bar）产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。•快速的响应时间•高重复精度LINE-TECH致力于为客户提供专业的仪器仪表及精密稳定的•性能稳定过程控制设备。公司自成立以来，以灵活的经营机制，以“质量第•宽量程比一、服务第一、客户第一”的信念，为客户提供更加专业化的、优•高性价比质的服务，深受各界用户的欢迎，并且在石油、化工、电力等重•ce认证点行业做出了突出成绩。如今产品远销美国，澳大利亚，日本，•ISO9001：2008／KS台湾，伊朗，中国，印度等...我们将一如既往的为所有的客户提供Q9001;2009更优质、高效的服务。•完善的AS售后服务line－tech（莱因泰可）关于MFC和MFM1．质量流量计，质量流量控制器的概念质量流量计，即MassFlowMeter(MFM)，是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。2．质量流量计，质量流量控制器的流量单位气体质量流量单位一般以SCCM（StandardCubicCentimeterperMinute）和SLM(StandardLiterperMinute)来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。如果需要单位时间内流过的质量（如g/min），可以查阅标准状态下的气体密度，然后作乘法就可以了。3．质量流量计／质量流量控制器的主要的优点（1）直接测量气体的质量流量热式质量流量计直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。（2）无可移动部分本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。（3）可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。（4）测量控制的自动化质量流量计／质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。（5）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制等。（6）准确度高，重复性好我们的产品准确度可达+-1%F.S（fullscale）重复性为＋-0.25%F.S（fullscale）（7）体积小巧，安装方便，操作简单（8）技术先进，符合发展潮流4．使用流量计／质量流量控制器应注意的问题（1）被测气体需要清洁。注意不要造成气路堵塞，当质量流量控制器出现某些故障，或气源不洁导致传感器或分流器堵塞，或因操作失误，均有可能造成堵塞。对于的用户而言，应当特别给以注意，既要选择合适的型号，又要正确进行系统设计和正确使用。（2）我公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算5．区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，但质量流量控制器更好用。6．不同气体的质量流量的换算产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，在此系数乘以流量显示值即是实际使用