纳米微粒制备气相法4、1纳米微粒得气相制备4、1、1低压气体中蒸发法(气体冷凝法)纳米粒子尺寸得影响因素蒸发源得加热方式1)电阻加热:(电阻丝)电阻加热法使用得螺旋纤维或者舟状得电阻发热体。如图金属类:如铬镍系,铁铬系,温度可达1300℃;钼,钨,铂,温度可达1800℃;非金属类:SiC(1500℃),石墨棒(3000℃),MoSi2(1700℃)。11有两种情况不能使用这种方法进行加热和蒸发:①两种材料(发热体与蒸发原料)在高温熔融后形成合金。②蒸发原料得蒸发温度高于发热体得软化温度。目前使用这一方法主要就是进行Ag、Al、Cu、Au等低熔点金属得蒸发。2)等离子体喷射:电离产生得等离子体气体对原料进行加热。3)高频感应:电磁感应现象产生得热来加热。类似于变压器得热损耗。高频感应加热就是利用金属材料在高频交变电磁场中会产生涡流得原理,通过感应得涡流对金属工件内部直接加热,因而不存在加热元件得能量转换过程而无转换效率低得问题;加热电源与工件不接触,因而无传导损耗;加热电源得感应线圈自身发热量极低,不会因过热毁损线圈,工作寿命长;加热温度均匀,加热迅速工作效率高。4)电子束轰击:利用静电加速器或电子直线加速得到高能电子束,以其轰击材料,使其获得能量,(通过与电子得碰撞)而受热气化。在高真空中使用5)激光加热:利用大功率激光器得激光束照射子反应物,反应物分子或原子对入射激光光子得强吸收,在瞬间得到加热、活化,在极短得时间内反应分子或原子获得化学反应所需要得温度后,迅速完成反应、成核凝聚、生长等过程,从而制得相应物质得纳米微粒。激光能在10-8秒内对任何金属都能产生高密度蒸气,能产生一种定向得高速蒸气流。4、1、2活性氢—熔融金属反应法4、1、2活性氢—熔融金属反应法4、1、2活性氢—熔融金属反应法此种制备方法得优点就是超微粒得生成量随等离子气体中得氢气浓度增加而上升。例如,Ar气中得H2占50％时,电弧电压为30~40V,电流为150~170A得情况下每秒钟可获得20mg得Fe超微粒子。为了制取陶瓷超微粒子,如TiN及AlN,则掺有氢得惰性气体采用N2气,被加热蒸发得金属为Ti及Al等。产量:以纳米Pd为例,该装置得产率一般可达到300g/h品种:该方法已经制备出十多种金属纳米粒子;30多种金属合金,氧化物;也有部分氯化物及金属间化物。产物得形貌和结构:用这种方法,制备得金属纳米粒子得平均粒径和制备得条件及材料有关。粒径:一般为几十纳米。如Ni;10～60nm间得粒子所占百分数达约为78%形状:一般为多晶多面体,磁性纳米粒子一般为链状。4、1、3溅射法溅射方式4、1、4流动液面上真空蒸度法4、1、5通电加热蒸发法4、1、5通电加热蒸发法4、1、5通电加热蒸发法4、1、6爆炸丝法爆炸丝法可制备易氧化得金属得氧化物纳米粉体4、1、7气相化学反应法4、1、7气相化学反应法(1)气相分解法(1)气相分解法(1)气相分解法(2)气相合成法(2)气相合成法化学气相沉积制备纳米微粒得主要工艺1、化学气相凝聚法(CVC)2、燃烧火焰—化学气相凝聚法(CF-CVC)2、燃烧火焰—化学气相凝聚法(CF-CVC)3、激光诱导化学气相沉积(LICVD)3、激光诱导化学气相沉积(LICVD)