!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!""!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点#博士导师杨乃恒先生主持第一讲$真空科学的发展及其应用**********************李云奇%&’()第二讲$真空物理基础***************************张世伟%&’+)第三讲$机械真空泵’一)’二)’三)’四)’五)’六)张以忱%&’,)-’&)-’.)-%.’/)-’()-’+)******第四讲$蒸汽流真空泵***************************姚民生%.’,)第五讲$气体捕集式真空泵*************************徐成海%.’&)第六讲$真空测量********************刘玉岱%.’.)-%0’/)-’()-’+)-’,)第七讲$真空检漏********************关奎之%0’&)-’.)-%1’/)-’()-’+)第八讲$真空系统设计****************王继常%1’,)-’&)-’.)-%%’/)-’()-’+)第九讲$真空系统组成元件************王继常%%’,)-’&)-’.)-22’/)-’()-’+)-’,)第十讲$真空密封****************王继常22’&)-’.)-2/’/)-’()-’+)-’,)-’&)第十一讲$真空材料************张以忱2/’.)-2(’/)-’()-’+)-’,)-’&)-’.)-2+’/)第十二讲$真空工艺********************张以忱2+’()-’+)-’,)-’&)-’.)第十三讲$真空系统的检测技术****张以忱2,’/)-’()-’+)-’,)-’&)-’.)-2&’/)-’()-’+)-’,)第十四讲$真空工程用焊接技术***张以忱2&’&)-’.)-2.’/)-’()-’+)-’,)-’&)-’.)-20’/)-’()第十五讲真空工程封接技术************************张以忱20’+)"!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!"!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!第十五讲真空工程封接技术张以忱’东北大学#辽宁沈阳//222,)中图分类号$340,+5340%文献标识码$6文章编号$/22(72+((’(220)2,7220%72(管状封接89:封接方法与工艺’上接(220年第+期12页)(9+9((9+9(9/管状封接件的(9+9/围封封接结构设计最常见的管状围封封接为钨杆-钼杆-可伐杆等与线膨胀系数相匹配封接是可伐管或可伐近的玻璃封接的结构;封接前需将玻璃和金属杆进行法兰接头与钼组玻璃管清洗#最好经过烧氢退火#以去除应力和表面脱碳;’BC7+2&-BC7+21等)的为了保证封接质量#封接时一般先在杆上烧玻璃封接’见图/);其结构形珠#其过程是$将内径略大于金属杆的玻璃套管切成适式见图,;当的长度#先用煤气加氧气的氧化焰均匀地烧金属杆#这类封接的玻璃管直图管状匹配封接结构待金属杆上形成一层适当厚度的氧化层后#再将玻璃,径与金属管的壁厚-玻璃套管套在金属杆上#用氧化火焰从玻璃管的一端向另管壁厚和贴边长度之间都有一定的关系#详见表/;外一端均匀地烧过去使玻璃管贴在金属杆上;此时钨表D管状匹配封接的尺寸要求呈金黄色#钼呈浅褐色#可伐呈鼠灰色#无氧铜则呈砖玻璃管直径金属管壁厚玻璃管壁厚贴边长度红色如果金属杆过氧化或氧化不足封接后金属杆发EFGH;#’>>)’>>)’>>)’>>)白-发黑或呈金属本色#而不能保持气密性;&<129,<29.29.</92/92</9&1</&29.</92/92</9&/9&<(9&烧好玻璃珠的金属杆可再与玻璃封接成单头或/&<+2/92</9&/9&<(9((9&<+92+2<02/9&<(92(9(<+92+92<,92以上多头引线;若引出线数目特别多则可采用烧结法#02(92<(9&+92<,92,92<.92即将膨胀系数与金属杆相匹配的玻璃磨成粉末用##最常用的管状不匹配封接是无氧铜管’线膨胀目筛过筛所得细粉填入预先插有引出线/(2</&2#系数为/.91I/27.)与玻璃管’线膨胀系数为,I/27.的石墨模子中连同模子放进马弗炉中也可采用高#’<//I/27.)的封接;为了减少由二者线膨胀系数的频炉等加热在下维持然)#122<%22=&</2>?@#差别所引起的玻璃管的应力#无氧铜管的封接边