第4章精密和超精密磨削4.1精密和超精密磨削概述4.1.1精密和超精密磨料加工方法分类4.1.2精密和超精密磨削精密和超精密磨削的精度和粗糙度4.1.3精密和超精密磨削的砂轮特性（1）磨料精密和超精密磨削的砂轮磨料（2）磨料粒度及选择（3）结合剂及其选择（4）组织和浓度及其选择超硬磨料磨具浓度的选择（5）硬度及其选择（6）磨具的强度及其选择（7）磨具形状和尺寸及其选择普通磨料磨具的标志超硬磨料磨具的标志4.1.4超硬磨料磨具的结构4.1.5涂附磨具涂附磨具的结构及其制造4.2普通砂轮精密磨削4.2.1精密磨削机理磨粒的微刃性与等高性精密磨削时的砂轮修整单粒金刚石车削修整方法无火花磨削4.2.2采用弹性砂轮精密磨削4.2.3精密磨床4.2.4精密磨削用量4.3超硬磨料砂轮精密磨削4.3.1超硬砂轮精密磨削的机理4.3.2超硬磨料砂轮磨削特点及应用范围4.3.3超硬磨料砂轮的修整金刚石车削修整方法磨削法杯型砂轮修整器结构图游离磨料挤轧修锐法气压喷砂法液压喷砂法电解修锐法双电极电解修锐法电火花修整法超声波振动修整法激光修整法4.3.4砂轮的平衡机电式平衡系统装有机电式动平衡系统的砂轮主轴液体注入式平衡技术电液平衡系统液、汽式动平衡技术4.3.5超硬砂轮精密磨削的磨床4.4超精密磨削4.4.1超精密磨削的产生4.4.2超精密磨削的机理超精密磨削的机理4.4.3典型的超精密磨削技术4.4.3.1在线电解修锐(Electrolyticin-processDressing，ELID)镜面磨削技术ELID磨削的原理在平面磨床上进行ELID磨削的装置ELID磨削的特点ELID磨削的表面粗糙度ELID磨削的磨除率ELID磨削的硬质合金试件ELID磨削的陶瓷试件ELID磨削的应用4.4.3.2细粒度含石墨弹性结合剂砂轮镜面磨削镜面磨削机理磨削结果4.4.3.3硬脆材料延性域磨削（Ductile-RegimeGrinding）塑性磨削机理单晶硅片的延性域磨削机理单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的新实验方法单颗磨粒磨痕的扫描电镜SEM照片单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的实验结果单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的实验结果塑性磨削对磨床的要求4.4.4超精密磨削的特点4.4.5超精密磨削的应用4.4.6超精密磨削的磨床4.4.6.1超精密磨床的特点4.4.6.2超精密磨床的结构4.4.6.3超精密磨床的应用实例德国G&N公司—NANOGRINDER/4日本DISCO公司—DGP8760日本TokyoSeimitsu公司研制的抛磨机床（polishgrinders）美国STRASBAUGH公司新概念正四面体磨床