GaAs基共振隧穿压力传感器的设计与仿真的中期报告该项目的目标是设计和仿真一种基于GaAs材料的共振隧穿压力传感器。在前期研究中，我们确定了传感器的基本结构，使用了COMSOLMultiphysics对结构和性能进行了建模和仿真，通过理论计算得出了传感器的性能参数，并对该传感器进行了初步实验验证。在本次中期报告中，我们将重点介绍以下工作：1.结构优化：通过COMSOLMultiphysics建模和仿真，对传感器的结构进行了进一步的优化。我们通过改变结构参数，包括金属电极的厚度、间距和形状，以及GaAs基底的厚度、大小和形状等，来寻找最佳的结构设计。我们使用了参数扫描和优化器工具来探索参数空间，并找到最优的结构参数，以获得最大的压力灵敏度和最小的非线性误差。2.性能评估：我们基于优化的结构参数，计算了传感器的电学性能和物理性能。我们使用了COMSOLMultiphysics计算了传感器的压力-电容响应，以及共振频率的变化情况。我们还评估了传感器的线性度、灵敏度和噪声等性能指标，以确保其实现了预期的性能和可靠性。3.进一步实验验证：我们计划通过实验进一步验证传感器的性能和可靠性。我们将使用压力计和示波器来测量传感器的压力-电容响应和共振频率变化等参数，并与仿真结果进行对比和验证。目前，我们已经完成了结构优化和性能评估的工作，并展示了一些初步的仿真结果。下一步，我们将进一步优化传感器的设计，并进行实验验证，以确保最终实现预期的性能和可靠性。