SiGe HBT的制作与测试分析的任务书.docx
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SiGeHBT的制作与测试分析的任务书任务书:1.研究SiGeHBT的制作过程和原理。2.研究SiGeHBT的工艺流程和制作技术,包括化学气相沉积(CVD)法和物理气相沉积(PVD)法等。3.研究SiGeHBT的结构特点和物理性质,探究SiGeHBT在高频应用中的优势和特点。4.分析SiGeHBT的测试方法和测试技术,包括器件测试和集成电路测试。5.搭建SiGeHBT器件测试系统,测试SiGeHBT的电学性能。6.分析测试结果,研究SiGeHBT的性能优化和应用领域,探讨半导体器件的进一步发展方向。参考文献:1.曹雷,郭小红,李琬玉等.SiGeHBT的提高性能措施[J].电子器件,2018,41(9):49-50.2.赵平,李永红,胡猛等.SiGeHBT器件分析与设计[M].北京:科学出版社,2009.3.杨臻洲,纪仲华.高速半导体器件测试技术[M].北京:电子工业出版社,2015.4.张军,李建军,谢洪.SiGeHBT晶体管高频参数的测试分析[J].电子科技,2016,29(11):22-25.