第２９卷第２期半导体学报犞狅犾．２９犖狅．２２００８年２月犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛犉犲犫．，２００８犃犘狉狅犵狉犪犿犿犪犫犾犲２４犌犎狕犆犕犗犛犕狌犾狋犻犕狅犱狌犾狌狊犉狉犲狇狌犲狀犮狔犇犻狏犻犱犲狉犔犻犣犺犻狇犻犪狀犵，犆犺犲狀犔犻狇犻犪狀犵，犣犺犪狀犵犑犻犪狀，犪狀犱犣犺犪狀犵犎犪犻狔犻狀犵（犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犳犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊，犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊，犅犲犻犼犻狀犵１０００２９，犆犺犻狀犪）犃犫狊狋狉犪犮狋：犃狆狉狅犵狉犪犿犿犪犫犾犲犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉犻狊犱犲狊犻犵狀犲犱犪狀犱犻犿狆犾犲犿犲狀狋犲犱犻狀犪０３５μ犿犆犕犗犛狆狉狅犮犲狊狊．犜犺犲犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉犻狊犪狊犻狀犵犾犲犮犺犻狆狑犻狋犺狋狑狅犱犻狏犻犱犲狉狊犻狀狊犲狉犻犲狊，狑犺犻犮犺犪狉犲犱犻狏犻犱犲犱犫狔４狅狉５狆狉犲狊犮犪犾犲狉犪狀犱犫狔１２８～２５５犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉．犐狀狋犺犲犮犻狉犮狌犻狋犱犲狊犻犵狀，狆狅狑犲狉犪狀犱狊狆犲犲犱狋狉犪犱犲狅犳犳狊犪狉犲犪狀犪犾狔狕犲犱犳狅狉狋犺犲狆狉犲狊犮犪犾犲狉，犪狀犱狆狅狑犲狉狅狆狋犻犿犻狕犪狋犻狅狀狋犲犮犺狀犻狇狌犲狊犪狉犲狌狊犲犱犪犮犮狅狉犱犻狀犵狋狅狋犺犲犻狀狆狌狋犳狉犲狇狌犲狀犮狔狅犳犲犪犮犺犱犻狏犻犱犲狉犮犲犾犾犳狅狉狋犺犲１２８～２５５犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉．犜犺犲犮犺犻狆犻狊犱犲狊犻犵狀犲犱狑犻狋犺犈犛犇狆狉狅狋犲犮狋犲犱犐／犗犘犃犇．犜犺犲犱犻狏犻犱犲狉狊犮犺犪犻狀犮犪狀狑狅狉犽犪狊犺犻犵犺犪狊２４犌犎狕狑犻狋犺犪狊犻狀犵犾犲犲狀犱犲犱犻狀狆狌狋狊犻犵狀犪犾犪狀犱犫犲狔狅狀犱２６犌犎狕狑犻狋犺犱犻犳犳犲狉犲狀狋犻犪犾犻狀狆狌狋狊犻犵狀犪犾狊．犜犺犲犱狌犪犾犿狅犱狌犾狌狊狆狉犲狊犮犪犾犲狉犮狅狀狊狌犿犲狊１１犿犃狅犳犮狌狉狉犲狀狋狑犺犻犾犲狋犺犲１２８～２５５犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉犮狅狀狊狌犿犲狊１７犿犃狅犳犮狌狉狉犲狀狋狑犻狋犺犪３３犞狆狅狑犲狉狊狌狆狆犾狔．犜犺犲犮狅狉犲犪狉犲犪狅犳狋犺犲犱犻犲狑犻狋犺狅狌狋犘犃犇犻狊０６５犿犿×０３犿犿．犜犺犻狊狆狉狅犵狉犪犿犿犪犫犾犲犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉犮犪狀犫犲狌狊犲犱犳狅狉２４犌犎狕犐犛犕犫犪狀犱犘犔犔犫犪狊犲犱犳狉犲狇狌犲狀犮狔狊狔狀狋犺犲狊犻狕犲狉狊．犜狅狅狌狉犽狀狅狑犾犲犱犵犲，狋犺犻狊犻狊狋犺犲犳犻狉狊狋狉犲狆狅狉狋犲犱犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉狑犻狋犺狋犺犻狊狊狋狉狌犮狋狌狉犲犻狀犆犺犻狀犪．犓犲狔狑狅狉犱狊：狆狉犲狊犮犪犾犲狉；犳狉犲狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉；狆狉狅犵狉犪犿犿犪犫犾犲；犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊；犳狉犲狇狌犲狀犮狔狊狔狀狋犺犲狊犻狕犲狉犈犈犃犆犆：１１３０犅；１２６５犣犆犔犆狀狌犿犫犲狉：犜犖７７２犇狅犮狌犿犲狀狋犮狅犱犲：犃犃狉狋犻犮犾犲犐犇：０２５３４１７７（２００８）０２０２２４０５［］犪狆狉犲狊犮犪犾犲狉９，犻狊犪犾狑犪狔狊犳犻狉狊狋犮狅狀狀犲犮狋犲犱狋狅狋犺犲狏狅犾狋犪犵犲犮狅狀狋狉狅犾犾犲犱狅狊犮犻犾犾犪狋狅狉．犐狀狋犺犻狊狆犪狆犲狉，狑犲狆狉犲狊犲狀狋犪犱犻狏犻犱１犐狀狋狉狅犱狌犮狋犻狅狀犲犱犫狔４狅狉５狆狉犲狊犮犪犾犲狉狋犺犪狋犮犪狀狑狅狉犽犪狊犺犻犵犺犪狊２４犌犎狕狑犻狋犺犪狊犻狀犵犾犲犲狀犱犲犱犻狀狆狌狋狊犻犵狀犪犾．犜犺犲犱狌犪犾［］犘犔犔犫犪狊犲犱犳狉犲狇狌犲狀犮狔狊狔狀狋犺犲狊犻狕犲狉狊１犪狉犲狑犻犱犲犾狔犿狅犱狌犾狌狊狆狉犲狊犮犪犾犲狉犮狅狀狊狌犿犲狊１１犿犃狅犳犮狌狉狉犲狀狋狑犻狋犺犪狌狊犲犱犻狀犿狅犱犲狉狀狑犻狉犲犾犲狊狊犮狅犿犿狌狀犻犮犪狋犻狅狀狊狔狊狋犲犿狊．犜犺犲３３犞狆狅狑犲狉狊狌狆狆犾狔．犜犺犲狋狉犪犱犲狅犳犳犫犲狋狑犲犲狀狆狅狑犲狉犪狀犱犿犪犻狀犳犲犪狋狌狉犲狅犳狋犺犲狊犲犳狉犲狇狌犲狀犮狔狊狔狀狋犺犲狊犻狕犲狉狊犻狊狋犺犲犻狉狊狆犲犲犱犻狊犪狀犪犾狔狕犲犱．犮犪狆犪犫犻犾犻狋狔狋狅犳狉犲狇狌犲狀犮狔犺狅狆犫犲狋狑犲犲狀犱犻犳犳犲狉犲狀狋犮犺犪狀犃犮狅狀狏犲狀狋犻狅狀犪犾狆狌犾狊犲狊狑犪犾犾狅狑犿狌犾狋犻犿狅犱狌犾狌狊犳狉犲［１０］狀犲犾狊，狑犺犻犮犺犻狊狉犲犪犾犻狕犲犱犫狔犮犺犪狀犵犻狀犵狋犺犲犱犻狏犻狊犻狅狀狉犪狋犻狅狇狌犲狀犮狔犱犻狏犻犱犲狉犻狊狉犲犪犾犻狕犲犱狑犻狋犺犪犱狌犪犾犿狅犱狌犾狌狊狆狉犲狊狅犳狋犺犲犳狉犲狇狌犲狀犮