蒸发器系统培训模块2-Hohenstein–Ernstthal,2011-03-14TitelderPräsentation,维修及高级操作AbschnittoderKolumnentitel,Arial12Punkt,fett11目录目录1目录1)2安全防护2)安全防护3TMA设备功能3)TMA设备功能4SIGA控制柜4)SIGA控制柜/蒸发器配电柜概况蒸发器配电柜5)手动操作模式/过程现场总线操作模式概况5操作模式：6)服务操作模式手动过程现场总线1)概况6操作模式2)加热调节器选项服务模式3)过程现场总线参数7附加部件4)参数一览表8供给柜KS987)附加部件9更换TMA桶1)OmronE5GN2)DMS放大器3)TB40-18)供给柜KS989)更换TMA桶1)安全防护2)换桶3)其它三甲基铝(AL(CH3)3)特性及其安全防护1目录-极易燃、在空气中自燃2安全防护-遇水反应强烈3TMA基础4操作/通信-引起腐蚀损伤加热调节器5-完全燃烧时生成二氧化碳、水合氧化铝6警报7供给柜-另外还可以生成一氧化碳、碳黑和碳化氢KS98操作系统-不能使TMA过热(T>120°C放热)8日常操作-1kgTMA=1944l气体-火焰高度直接取决于表面(蒸发表面)和纯度-在保护蒙气下(氮气/氩气)存放只允许由AkzonobelundRoth&Rau公司培训的认证人员操作设备个人防护装备1目录-纯棉制内衣裤2安全防护-贴身服装为耐火连衣裤工作服3TMA基础4操作/通信-外衣为镀铝工作服加热调节器5-皮制手套，6警报7供给柜另外还可以使用可剥去、KS98操作系统带衬里的PVC手套8日常操作-密闭式劳保鞋-带有防护后颈和面部的安全帽发生事故时的行为1目录-绝对不能用水灭火2安全防护3TMA基础-尽可能使用蛭石、干粉或干燥的沙子4操作/通信等控制火势，化合溢出的TMA5加热调节器-通过化合放慢并可以控制TMA反应6警报7供给柜KS98操作系统-若与身体接触，则尽可能使用大量的8日常操作水进行冲洗-联系专业人员AIRCO2H2OVermiculiteTMA设备功能氩气1目录蒸发器2安全防护3TMA基础TMA液体4操作/通信5加热调节器供6警报给柜7供给柜KS98操作系统8日常操作/TMA气体SiNA工艺腔SIGA控制柜通信1目录蒸发器2安全防护3TMA基础硬件信号4操作/通信5加热调节器供6警报给柜7供给柜KS98操作系统8日常操作阀门控制V1过程现场总线SiNA工艺腔蒸发器配电柜概要图1目录2安全防护3TMA设备功能加热腔4SIGA控制柜等离子源1蒸发器配电柜氩气5操作模式：等离子源2手动过程现场总线真空排气管道6操作模式先质服务模式7附加部件8供给柜KS989更换TMA桶蒸发器配电柜概要图1目录MV1–氩气入口手调阀Pr–减压阀安全防护2MV2–先质管道吹洗手调阀P–气压计3TMA设备功能MV3–先质入口手调阀Rv–单向阀4SIGA控制柜旁通手调阀称重元件蒸发器配电柜MV4–MFC-1LC–5操作模式：MV5–应急排出TMA手阀PT–1–加热罐压力测量管手动V1–液罐先质入口气动阀TE–1/2-温度感应器PT100过程现场总线V2–液罐TMA出口气动阀MFC-1–TMA气体流量控制器6操作模式服务模式V3–MFC-1的TMA出口气动阀Pu–MFC-1前测量压差的压力测量管7附加部件V4–排气管道气动阀PD–MFC-1后测量压差的压力测量管8供给柜V5–氩气吹洗TMA腔气动阀MFC-2–氩气流量控制器KS98V6-氩气吹洗加热罐气动阀PSH–过压自动开关(PressureSwitchHigh)9更换TMA桶V7–TMA通往等离子源1气动阀V8–TMA通往等离子源2气动阀1目录1液罐加热装置开关2安全防护2内部附带加热装置(1)开关3TMA设备功能3外部附带加热装置(2)开关4SIGA控制柜蒸发器配电柜4加热腔开关5操作模式：液罐温度限制器手动5TB40-1过程现场总线6内部附带加热装置(1)温度控制器6操作模式服务模式7外部附带加热装置(2)温度控制器7附加部件8蒸发器系统总开关8供给柜KS989触摸屏9更换TMA桶10服务模式钥匙开关TMA操作系统手动模式1目录-在SIGA控制柜操作-可以手动起动吹洗及工艺惯例程序2安全防护-不能