基于并联微动台的微力传感器系统研究的中期报告摘要：本中期报告介绍了基于并联微动台的微力传感器系统的研究进展，主要包括系统结构设计、力学分析、控制算法、实验验证等方面。首先，介绍了并联微动平台的结构和工作原理，并在此基础上设计了微力传感器系统的结构。其次，以牛顿环为例，对传感器系统的力学特性进行了分析，计算了传感器系统的灵敏度和线性度等指标。然后，介绍了传感器系统的控制算法，包括位置控制和力控制两种方式，并对两种方式进行了仿真和实验验证。最后，总结了研究工作的进展和亟待解决的问题，并对后续工作进行了展望。关键词：并联微动台；微力传感器；力学分析；控制算法；实验验证Abstract:Thismid-termreportintroducestheresearchprogressofmicroforcesensorsystembasedonparallelmicro-motionplatform,mainlyincludingsystemstructuredesign,mechanicalanalysis,controlalgorithm,experimentalverificationandsoon.Firstly,thestructureandworkingprincipleoftheparallelmicro-motionplatformareintroduced,andthestructureofthemicroforcesensorsystemisdesignedonthisbasis.Secondly,takingtheNewtonringasanexample,themechanicalcharacteristicsofthesensorsystemareanalyzed,andthesensitivityandlinearityofthesensorsystemarecalculated.Then,thecontrolalgorithmofthesensorsystemisintroduced,includingtwocontrolmodes:positioncontrolandforcecontrol,andthetwomodesaresimulatedandexperimentallyverified.Finally,theprogressoftheresearchworkandtheurgentproblemstobesolvedaresummarized,andthefutureworkisdiscussed.Keywords:Parallelmicro-motionplatform;microforcesensor;mechanicalanalysis;controlalgorithm;experimentalverification.