，愚第67~jl-麓善车春城等：rFr—LcD取向层工艺及其关键参数文章编号：1006—6268(2006)09—0020-04TFT—LCD取向层工艺及其关键参数车春城’。王丹。李军建’(1．中国电子科技大学。四川成都610054；2．北京京东方光电科技有限公司，北京100176l摘要：综述了国内最先进的第5代TFT—LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响，从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。关键词：取向层；聚酰亚胺膜；涂布；摩擦；膜厚；预倾角中图分类号：TN141．9文献标识码：BTFT—LCDSOrientedLayerTechnologyandIt'sKeyParametersCHEChun-cheng，WANGDan，LIJun-jian’1．UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,SichuanChengdu610054,China；2．BeijingBOEOptoelectronicsTechnologyCo．LTD，Beijing100176，China)Abstract：TOverviewtheorientedpolyimidelayertechnologyinthe5thgenerationTFT—．LCDproductionlines．Thisarticleanalyzestheparametersinfluenceonfilmthicknessandpretiltangleintheorientedpolyimidelayertechnology．Anditwillbeareferencetotheactualproduction．Keywords：orientedlayer；polyimidefilm；coating；rubbing；filmthickness；pretiltangle中国的信产产业已成为国民经济的先导、支柱产业条TFT—LCD生产线和所有LCD义务的及京东方和上和战略陛产业，产业规模列中国各工业部门之首，居全球广电分别投次在大陆建设2条第5代TFT—LCD生产代第二i中国已成为全球最主要的IT产业生产基地，多种电为标志，中国正在逐建成为液晶强国[1]。子产品质量居全球第—位。在全球众多的TFT—LCD厂商不断推出更高水平生产线的同时，中国两大电子集团投1引言资及建设的第5代TFF—LCI生产线在2004年投入试生产阶段。以京东方科技集团股分有限公司收购韩国现代3第5代线是国内目前最先进的TFT—LCD生产20现代显示AdvancedDisplaySep2006收稿日期：2006—06—23车春城等：TFr-LCD取向层工艺及其关键参数总第67期线，它的液晶制屏工艺包括从玻璃基板到显示器件的性、化学稳定性及取向稳定性。其具体工艺就是聚亚酰整个制件过程，分两个阶段制作。第一阶段，首先将CF胺液体通过一根点液针落料，然后利用独特的三只滚基板和TFT基板在入制屏阶段后分成两条线同时运筒(刮胶滚筒、均胶滚筒、版胴)均胶后转印在基板的指行；第二阶段，在对位压合工序中将两条线合成一条生定范围内。膜厚通过调节滚筒推压、移动速度、液体下产线。具体工艺如下：滴等进行控制。再经过预烘后送至坚膜炉在2000(]左(1)CF基板_+清洗和干燥一十PI涂膜与固化_+定向右的温度中进行固化，最终形成60—90nm厚度的取摩擦和清洗一点胶划线0体封框_+液晶滴灌—3)向膜。其工艺设备如图1所示：版胴用于安装APR板；(2)TFT基板清洗和干燥—l涂膜与固化—定向用分配器将Pl液滴于均胶辊上；基台用于印刷时托放摩擦和清洗—散布衬垫料翻转叫3)玻璃，要求平坦度在20m以内；均胶辊用于将Pl液(3)对位压合_÷封框胶UV固化切割／裂片贴涂到APR板上，上有小坑【15um深】威网状排布Mesh偏光片—最终检测。以上工艺概括起来，可大致分为10[400Line／inch]，倾斜角度[45。】，目的是使Pl液涂布均个工序II。匀：刮胶辊(刮刀)目的是使均胶辊上的Pl液均匀。由此可见取向膜工艺是Cell工艺流程的第一步，而且取向膜也是液晶显示器中与液晶分子直接接触的部分，取向膜的取向直接决定液晶分子的排列。取向效果的好坏对于液晶显示器的均一性、视角、Ⅱ向应速度、阈值电压等基本性能都有重要影响。因此，取向膜的工艺是我们极为关注的部分。目前TFT—LCD工业中广泛应用的取向控制技术采用涂布摩擦法，正如所说的那样：。从商业应用的角度来看，最稳定的取向技术仍然是从摩擦法得到的⋯