第二章薄膜制备技术第一节薄膜的物理气相沉积第二节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第二节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积蒸发源、基板放在同一球面上，可得到均匀薄膜。可将蒸发源直接配置于基板的中心线上：A、基板公转加自转的“行星”方式运动B、采用多个分离的点源代替单一蒸发源第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物一理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积第一节薄膜的物理气相沉积思考题ThankYou!