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硅作为集成电路半导体材料的主要原因:1.多晶硅原料2.单晶硅制备3.切割4.研磨5.评估粗硅化学法纯化直拉法(Czochralski法)单晶生长晶体主流生长技术晶体和坩锅彼此是相互反向运动:引晶:通过电阻加热,将装在石英坩埚中的多晶硅熔化,并保持略高于硅熔点的温度;2.将籽晶浸入熔体,然后以一定速度向上提拉籽晶并同时旋转引出晶体;3.等径生长:根据熔体和单晶炉情况,控制晶体等径生长到所需长度;4.收尾:直径逐渐缩小,离开熔体;5.降温:降级温度,取出晶体,待后续加工。晶体生长最大速度:与晶体中的纵向温度梯度、晶体的热导率、晶体密度等有关。温度梯度:提高晶体中的温度梯度,可以提高晶体生长速度;但温度梯度太大,将在晶体中产生较大的热应力,会导致位错等晶体缺陷的形成,甚至会使晶体产生裂纹。熔体中的对流:晶体和坩锅彼此是相互反向运动。相反旋转的晶体和坩埚产生对流,反向旋转速度相差越大,对流强烈,所生长的晶体的直径越大。但对流越强烈,会造成熔体中温度波动,从而导致晶体中的杂质分布不均匀。一支85公分长,重76.6公斤的8寸硅晶棒,约需2天半时间长成。4.研磨3.切割5.晶片评估不同尺寸圆片的生命周期