低压双电层氧化物薄膜晶体管的研究的中期报告该研究旨在开发一种基于低压双电层氧化物薄膜晶体管的新型晶体管技术，并探索其在可穿戴电子等领域的应用。本研究已完成下列主要工作：1.设计并搭建了实验测试平台。该平台能够实现氧化物薄膜沉积、探针测试、二极管特性测试等功能。2.研究了不同氧化物薄膜的制备方法和性质。选择了适合该技术的高介电常数氧化物薄膜，包括HfO2、Al2O3等。3.制备了低压双电层氧化物薄膜晶体管样品，并进行了电学测试。测试结果表明，样品具有良好的电学性能，如较低的漏电流密度、高迁移率等。4.探究了该技术在可穿戴电子中的应用。结合生物医学领域的需求，设计并制备了基于低压双电层氧化物薄膜晶体管的生物传感器，并进行了原型测试。未来工作将重点集中在以下方面：1.进一步优化氧化物薄膜制备方法，进一步提高薄膜质量。2.深入研究低压双电层氧化物薄膜晶体管的物理机制，制定具体的优化措施。3.探索该技术在智能穿戴等领域的应用，并进一步完善并验证研究成果。