中电电气（南京）光伏有限公司ChinaSunergy(Nanjing)Co.,Ltd板式PECVD设备PM手册文件编号SerialNo.DOCVARIABLESerialNo\*MERGEFORMAT生效日期EffectiveonDOCVARIABLEEffectiveOn\*MERGEFORMAT第页共NUMPAGES13页PageofNUMPAGES13编写人AuthorDOCVARIABLEAuthor\*MERGEFORMAT审核人CheckedbyDOCVARIABLECheckedBy\*MERGEFORMAT批准人ApprovedbyDOCVARIABLEApprovedBy\*MERGEFORMAT版本VersionDOCVARIABLEVersion\*MERGEFORMATDATE\@"yyyy-MM-dd"2024-10-06TIME\@"h:mm:ssam/pm"2:12:18PM请通过公司文控系统获取最新版本文件修订记录文件版本日期修订页次描述1.02009-12-14全部新制定3.PM前的准备1.在设备上放置PM告示牌2.准备PM工具：无尘布PVC手套酒精除锈清洁剂吸尘器气枪个人工具箱.放置在推车上推至现场PM的执行1检查马达传动装置及传动皮带2检查更换U型槽3检查更换微波源风扇过滤器4检查密封圈5检查传感器6检查冷却水过滤器7检查角阀过滤网8检查真空泵的油，氮气，冷却水拆卸敷层防护槽（U型槽）有时候当等离子体源经过长时间的工作后，也由于沉积过多并附着在敷层防护槽上，在这种情况下对防护槽的清洁也是非常重要的，因此我们需要将防护槽卸下来通常通过喷沙处理并与酒精结合处理；特殊的T型工具（左）和维护操作过程开关比较（右）拆卸敷层防护槽的步骤：1）先用真空吸尘器将槽内的敷层颗粒及杂质除去；2）再用设备的T型工具固定住防护槽的一字栓后顺时针旋转90度；3）沿竖直方向拔出防护槽；4）清洁防护槽及其备件；5）再次之后可用酒精将剩余的杂质祛除；注：如果要更换敷层防护槽子可根据的拆除敷层防护槽的操作顺序相反进行操作。清洁等离子体源设备中的等离子体源也要定期的进行维护和清洁。特别是工艺气体的出气口很可能被杂质所附着。要清洁等离子体源及工艺气体的出气口则要遵循以下步骤：1）用真空吸尘器先将上面附着的杂质祛除；2）亦可用钢丝刷和砂纸清除那些真空吸尘器难以祛除的附着比较严重的部分；3）查看所有的气孔（直径为1mm）是否被堵死，如有堵塞情况可用1mm的钻孔机或细针将其疏通；4）如果通过以上方法仍未将出气孔疏通，可将堵塞的部分卸下并单独进行清洁；5)在经过以上操作之后，再用真空吸尘器进行一下清洁6)可用真空吸尘器清洁等离子体源的法兰的边缘并用酒精清洗瓶口7)工艺腔体内的特气管路为一个季度清洗一次。微波源风扇过滤器A:电机B:过滤器C:排出口清洁步骤如下：1）打开过滤器保护盖，取出里面的圆筒黄色过滤器；2）使用吸尘器对过滤器表面进行清洁；3）从新安装过滤器。腔体门阀影响矩形门阀正常工作的因素：是否有磨损，冷却温度，压缩空气压力必须每次更换石英管时进行依次密封检查，及步骤如下：1）关闭泵；2）Vent三个腔体；3）打开所有的腔体盖子；4）取下gate1顶部的安全门板；5）在手动模式下打开四个门，安全起见，用自备的载体来阻塞四个门；(千万注意不能损坏密封圈)6）然后用无尘布和酒精清洁密封条；7）按照相反工序关门，关盖；LOAD和UNLOAD腔角阀必须对阀做持续的清洁，步骤如下：1）关闭泵；2）对load和unload两个腔体充气；3）打开load和unload的盖子；4）在load和unloadchamber里取下金属圆盘；5）用真空吸尘器清洁其里面的微粒如细小碎硅粒，杂质等；6）用螺丝刀卸下网状罩子；7）再次用真空吸尘器吸取微小微粒；8）用“检修”模式下打开角阀:检修模式->machineA3->MNDo1->Lcpvop->MNDO1->LCpvop9）执行之后就打开了相应的阀门；10）再用吸尘器清洁；11）用无尘布和酒精对其密封圈，金属盘进行手工清洁；12）根据以上步骤反过重新安装；13）开启泵并测试泄漏；14）观察阀开和关的位置是否有问题；process腔角阀对processchamber的角阀进行清洁：1）关闭泵；2）对processchamber腔体充气；3）打开两个角阀的法栏的螺丝；4）把角阀移开放到干净的地方；5）用真空吸尘器清洁其里面的微粒如细小碎硅粒，杂质等；6）用“检修”模式下