工艺气体流量在玻璃镀膜中的重要性洛玻集团洛阳新晶润工程玻璃有限公司王秀丽郭明河南４７１００３关键词：工艺气体流量性能镀膜玻璃摘要：通过镀膜室工艺气体流量大小对镀膜玻璃膜层理化性能、生产效率的试验和理论分析，证明可以用非常简单的方法，提高镀膜玻璃的耐研磨、耐酸碱等理化性能和生产效率。１前言工艺气体是镀膜玻璃生产Ｊ：艺中最重要的控制对象之一，不同厂家制造的设备，不同时期制造的设备，有着不同的控制方式。：【艺气体控制分为恒压力控制和恒流量控制两种方式。目前国内有近３００条离线磁控镀膜玻璃生产线。其中进口生产线４０多条，国产生产线２００多条。原美国爱柯公司早期的生产线，都采用恒压力控制系统，而９５年以后的生产线则采用恒压力和恒流鼙两套控制系统，用户可以根据ｊ：艺需要和偏好自己选择；原德国莱宝的生产线则一直采用恒流量控制系统：国产镀膜生产线采麒两种控制系统的界限不明显，有的生产线只有两个一１：艺室，第一个室的ｌ：艺气体朋恒压力控制系统，第二个室的一Ｌ艺气体却州恒流量控制系统。两种．１：艺气体控制系统都能满足镀膜玻璃生产１：艺的要求，在实际生产应朋过稃中，人家普遍反映恒压力控制系统能使生产工艺更稳定，恒流量控制系统使生产一Ｉ．艺更灵活，生产出的镀膜玻璃颜色更丰富。本文通过实验和对镀膜ｌ：艺理论的理解，将１ｊ艺气体流量在磁控溅射镀膜玻璃生产１：艺中的重要性，进行简要分析。２工艺气体流量大小对镀膜玻璃性能的影响２．Ｉ工艺气体恒流量控制系统图ｌ恒流量控制系统图流量给定：根据生产．Ｌ艺需要，通过计算机或电位计调节ｉ：艺气体流量设定值。气体流鼙质量控制器：根据设定值调节气体阀门开启的人小，并将实际流量在控制面板或计算机上显示出来。气体阍门：根据给定电压精确执行开启的大小，控制’【艺气体流量。２．２工艺气体恒压力控制系统１４２图２恒压力控制系统图压力给定：根据生产工艺需要，通过计算机或电位计设定工艺气体压力值。压力控制器：根据给定值和反馈值控制气体流量质量控制器，通过控制气体流量来控制工艺室压力。气体流量质量控制器：根据设定值调节气体阀门开启的大小，并将实际流量在控制面板或计算机上显示出来。气体阀门：根据给定电压精确执行开启的大小，控制工艺气体流量。压力检测：用电容规测量工艺室压力，反馈给压力调节器，并在控制面板或计算机上显示出来。２．３工艺气体流量的实验条件工艺室本底真空为８．５Ｘ１０～Ｐａ，使用溅射沟槽深度ｉｍ的两个新Ｔｉ靶。直流溅射电源，变压器选６５０Ｖ抽头，靶材溅射采用恒功率控制方式．均为６５Ｋｗ，工艺气体为纯度９９．９９９％的Ｎ２气。实验用６ｍ白玻，可见光透过率为８９．３％。工艺室辊道传输速度为３３．２ｍｍ／ｓ。每组镀一片４００Ｘ９００ｍｍ的玻璃，在恒压力控制方式下控制工艺气体流量。第一组工艺气体流量为３００ｍｌ／ｍｉｎ，第二组工艺气体流量为４００ｍｌ／ｍｉｎ……第八组工艺气体流量为１０００ｍｌ／ｍｉｎ，每实验一组玻璃后，均用７５Ｋｗ功率，通入工艺气体Ａｒ气，扫靶１分钟。所记录的工艺气体流量、电压、电流等数值，均以靶材溅射稳定后，未进玻璃时的显示为准。２。４工艺气体流量大小对膜层理化性能的影响镀膜玻璃膜层理化性能主要为耐研磨性能和耐酸、耐碱性能，试验均按照镀膜玻璃国家标准ＧＢ／Ｔ１８９１５．１－２００２的要求进行，结果如下：工艺气体流量与膜层理化性能的关系表１工艺气体流量研磨前后可见光ｍｌＯｆｌＯｎ３００４００５００６００７００８００９００透过率就量％０．１Ｏ．２０．３Ｏ．３Ｏ．４０．５０．５酸浸泡前后可见光透过率魔化量％．碱浸泡前后可见光透过率嬲化量％１．８２２．４１．７２２．４２．８２．９３．３３．４２．８２．９３．３３．４１４３工艺气体流量对膜层理化性能的影响２．４善一彳５誓“／名多巧。。２．９丢Ｘ蒜。。３．４∥３．７。‘一‘一。、１．７／一一．．．一．／０．１／０?２／／“。“。．．工艺气体流量（ｍｌ／ｍｉｎ）一酸浸泡前后可见光透过率变化量％一碱浸泡前后可见光透过率变化量％一研磨前后町见光透过率变化量％通过表１可以看出，随着工艺气体流量的增加，镀膜玻璃膜层的耐研磨性能逐步变差，但研磨前后可见光透过率变化量都远远低于国标要求的４％，这说明镀膜设备的整体性能良好，特别是入口清洗机保养得非常好。随着Ｊ：艺气体流鼍的增加，镀膜玻璃膜层的耐酸、耐碱性能逐步变差，虽然没超过国标要求的４％，但已经非常危险了，如果生产过程中，设备状态稍微有一些波动，就会超出国标要求。膜层的耐酸、耐碱性能基本一致，说明设备整体性能良好。有的设备生产的产品，一段时间耐酸性能好，但耐碱性能不好，过一段时