第6章MEMS的应用6.1MEMS的应用武器制导和个人导航芯片上的惯性导航组合超小型、超低功率无线通信（RFMEMS）的机电信号处理军备跟踪、环境监控、安全勘测的无人值导分布式传感器系统小型分析仪器、推进和燃烧控制的集成微流量系统武器安全、保险和引信有条件保养的嵌入式传感器和执行器高密度、低功耗的大规模数据存储器件敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件飞机分布式空气动力学控制和自适应光学的主动、共形表面MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机分布式战场微型传感器网络探测人员、车辆运动信息，查明敌人军队部署调动布撒、收集信息方式工作原理陀螺仪测量姿态和转动的角速度，保持对加速度对准的方向进行跟踪；加速度计测量加速度的变化要求二、MEMS在汽车上的应用主要用途安全气囊典型汽车用产品三、MEMS在生化、医学上的应用心脏起搏器/人工心脏三大组成部分手术操作部分手术观察部分与系统集成安捷仑公司的Bioanalyzer样品处理、分离、检测、分析集成于一体BioMEMS研究背景PMMA微流控芯片制作及实验研究1.PMMA微流控芯片制作2.微通道结构设计3.PMMA微流控芯片制作4.PMMA微流控芯片参数测量5.电流监测实验系统6.电渗流的测量6.电渗流的测量6.2MEMS的封装1、封装设计芯片级封装器件级封装2、封装工艺2）引线键合热压键合超声键合热超声球键合3）微密封工艺4）先进封装——倒装焊焊球阵列Ballgridarray(BGA)4）先进封装——多芯片封装（MCP）4）先进封装——多芯片封装（MCP）4）先进封装——模块式封装（MOMEMS）5）插装元器件的结构3、封装基片材料陶瓷环氧玻璃金属本章重点难点本章学习要求