现代材料分析方法射线光电子能谱XPS概述XPS:原理---光电效应XPS:原理XPS:原理XPS:原理X射线光电子谱仪得能量校准X射线光电子能谱分析得首要任务就是谱仪得能量校准。一台工作正常得X射线光电子谱仪应就是经过能量校准得。X射线光电子谱仪得能量校准工作就是经常性得,一般地说,每工作几个月或半年,就要重新校准一次。对于气态XPS,测定得结合能与计算得结合能就是一致,因此,可以直接比较。对于导电固体样品,测定得结合能则就是以Fermi能级为基准得,因此,同计算结果对比时,应用公式进行换算。对于非导电样品,参考能级得确定就是比困难得。XPS信息深度电子得逃逸深度12XPS信息深度XPS:装置X射线光电子能谱仪XPS:装置XPS:装置半球形电子能量分析器XPS:样品制备XPS:谱图XPS:谱图XPS:谱图原子能级划分－1原子能级划分-2原子能级划分-3自旋－轨道劈裂XPS:谱图XPS:化学位移－1XPS:化学位移－2XPS:化学位移－3XPS:化学位移－4XPS:多重劈裂XPS:多重劈裂XPS:多重劈裂XPS光电子线其她伴线XPS光电子线其她伴线俄歇线OKLL、CKLLKLL:左边代表起始空穴得电子层,中间代表填补起始空穴得电子所属得电子层,右边代表发射俄歇电子得电子层XPS光电子线其她伴线XPS光电子线其她伴线XPS光电子线其她伴线XPS光电子线其她伴线XPS光电子线其她伴线XPS光电子线其她伴线XPS光电子线及伴线XPS光电子线其她伴线XPS:定性分析方法XPS:定量分析方法－1XPS:定量分析方法－2XPS:定量分析方法－3XPS:定量分析方法－4XPS:定量分析方法－5应用领域XPS:应用XPS:应用