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X射线光电子能谱分析X-rayPhotoelectronSpectroscopy表面分析技术(SurfaceAnalysis)是对材料外层(theOuter-MostLayersofMaterials(<100nm))的研究的技术主要内容8.1XPS的基本原理X射线光电子能谱（XPS，全称为X-rayPhotoelectronSpectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它还有一个名称，即化学分析电子能谱（ESCA，全称为ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis）X射线物理8.1XPS的基本原理X射线激发光电子的原理电子能谱法：光致电离；A+hA+*+e8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.1XPS的基本原理8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.2光电子能谱仪实验技术8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用利用离子枪依次剥落表面，进行XPS分析，就可以得到深度分布图谱8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用8.3X射线光电子能谱的应用
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